中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9315039 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、幅広い半導体プロセス用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この装置はコンパクトで高度に自動化されており、敏感な材料をエッチングするための効率的で正確な方法を提供します。それは堅牢な材料で構築され、長いシステム寿命と効率的な動作を保証します。このユニットは、ステンレス鋼から作られた高度な反応チャンバーを組み込み、プロセス全体で保証された精度を確保するために、高いプロセス温度に加熱されます。反応チャンバーにはデジタル真空圧力コントローラが装備されており、プロセス環境を正確に制御できます。また、スプレー式指向性インジェクタを備えており、均一なエッチング率と最小のオーバーエッチングで効果的に基板をエッチングすることができます。Flex 45は、高度なプロセスコントローラとヒューマンマシンインタフェース（HMI）を備えており、完全なプロセス制御を可能にします。このコントロールパネルはプログラム可能なバッチパラメータをサポートし、オペレータはプロセスレシピを保存し、必要に応じてそれらを呼び出すことができます。コントローラは、手動チューニング、自動熱管理、高度な診断データなど、さまざまなプロセス監視オプションも提供しています。また、パーティクルフィルターツールを搭載しており、エッチング精度や基板品質に影響を及ぼす可能性のある粒子をフィルタリングします。このパーティクルコントロール資産は、エッチング精度と歩留まりを向上させ、プロセス汚染やパーティクルエントレインに関連するその他の問題のリスクを低減するように設計されています。最後に、LAM RESEARCH Flex 45には、一連の安全機能が装備されています。これらの機能には、緊急停止、安全センサー、およびエアフィルターが組み込まれており、使用可能な環境に入る危険な粒子のリスクを低減したり、エッチング/灰プロセスを汚染したりします。要約すると、Flex 45は、精密なエッチングプロセスを提供し、潜在的なプロセスの危険から人員や機器を保護するように設計された、半導体業界にとって革新的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーを提供します。LAM RESEARCH Flex 45は、高度なプロセス制御、安全機能、およびパーティクルフィルタリング機能を備え、敏感な材料をエッチングするための優れたソリューションです。