中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9314598 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、大規模なデバイス生産アプリケーション向けに特別に設計された次世代のエッチャー/アッシャーです。高度な設計により、Flex 45はさまざまなデバイスアーキテクチャを解決し、高精度の均一性、効率、スループットを実現します。LAM RESEARCH Flex 45には、インテリジェントで柔軟性のあるカセットからカセットまでの装置が組み込まれており、稼働時間の向上とプロセスの再現性の向上をサポートします。工具のセットアップと基板のロードロック配置を迅速に行えるため、生産性が向上し、メンテナンス/リツーリングのダウンタイムがさらに短縮されます。プロセスの均一性を最適化するために、リニアピッチ、垂直スタッガー、ベベル/リボンスタイル材料など、標準およびカスタム構成が利用できます。さらに、システムは、エッチングとアッシングの両方のアプリケーションのための様々なストック可能なリボン金属材料を受け入れることができます。Flex 45は、すべてのプロセスパラメータの効率をリアルタイムで監視するための強力なプロセス診断ユニットを備えています。これにより、オペレータはプロセスの変化を迅速に特定し、プロセスの変化に迅速に対応し、必要に応じて是正措置を実施することができます。さらに、このマシンは複数の温度コントローラを備えており、複数の安定性の段階を可能にし、長期的な動作にわたって温度ドリフトを低減します。高速デジタルI/Oおよびイーサネット通信機能により、プロセスの状態と結果を瞬時に読み出し、エラーを最小限に抑え、出力を増加させます。最後に、LAM RESEARCH Flex 45には、消耗部品の自動シャットオフや工具安全アラームなどのさまざまな安全機能が組み込まれており、オペレータに信頼性の高いプロセス制御を保証し、稼働時間をさらに向上させます。これらの高度なツールを組み合わせたFlex 45は、大量生産のための包括的なエッチング/アッシング資産を提供します。