中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9314597 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、重要なデバイス構造に対する最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング要件を満たすように設計された多機能エッチャー/アッシャーです。平面面と立体面の両方でエッチングとアッシングが可能なFlex 45は、従来のエッチャーよりも優れた性能を発揮します。最適なレシピビルダーにより、LAM RESEARCH Flex 45はあらゆるレシピを迅速かつ正確に処理できます。これにより、メディアの柔軟性が向上し、Flex 45はさまざまなエッチングおよびアッシングアプリケーションに最適なソリューションとなります。LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまなサイズのウェーハおよび基板、およびさまざまなエッチング/アッシング要件を正確に処理するための調整可能なプラットフォームで設計されています。また、シンプルで直感的な制御装置を備えているため、ユーザーはエッチングのレシピや自動実行シーケンスをすばやく切り替えることができます。エッチングチャンバーとエッジリングはアルミ合金製で耐久性に優れており、圧力、温度、ガスの流れの急激な変化に対応できます。LAM RESEARCH Flex 45は、幅広いメディアの柔軟性を提供する最初のエッチャー/アッシャーであり、複数のエッチングレシピを同時に操作できます。また、過剰エッチングやアンダーエッチングを低減する高度なプロファイル制御機能を提供する最初のエッチャー/アッシャーです。さらに、Flex 45はハードコード化されたデータロギング機能で有効になり、エッチングまたはアッシングプロセス中のレシピ設定とアクティビティの詳細な記録を提供します。LAM RESEARCH Flex 45は、内蔵の安全インターロックシステムやガスセンサーなど、さまざまな高度な安全機能も提供しています。これらの安全機能により、Flex 45は常に安全で準拠した方法で動作します。安全インターロックユニットは、プロセスパラメータが正しく設定されていない場合にエッチャー/アッシャーの動作を防止し、ユーザーはマシンを停止することなく設定を調整することができます。ガスセンサーは不活性ガスと反応性ガスのバランスを監視し、必要な安全レベルを維持し、有害な発煙の蓄積を回避します。全体として、LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適なエッチャー/アッシャーです。直感的な制御ツールと高度なメディアの柔軟性により、安全で信頼性の高い設計となっており、ユーザーはエッチング・レシピや自動実行シーケンスをすばやく切り替えることができます。Flex 45は、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング要件を確実に満たします。