中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9308360 を販売中
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LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまな高度なアプリケーション向けに設計された、高性能で完全に自動化されたケミカルエッチャー/アッシャー装置です。Flex 45は、多機能、プロセスプログラマブル技術に基づいた高度なエッチャー/アッシャーシステムです。エッチング/アッシング用途において、エッチングの均一性、柔軟性、生産性を最大限に高めるように設計されています。このユニットは、ますます複雑で敏感な3D構造を処理する場合でも、卓越した精度とデバイス間の均一性を実現するように設計されています。このマシンには、ユーザーが希望するエッチング/アッシング結果を最適化できる、強力なプロセスと安全制御機能の包括的なセットが装備されています。特許取得済みのマイクロプロセッサと独自のソフトウェアで設計されており、メンテナンスと制御をプロセスに迅速かつ正確なフィードバックを提供します。LAM RESEARCH Flex 45は、高精度、高スループット、および高品質のウェーハ表面変換用に設計されています。Flex 45は、高いスループットと高精度のエッチング/灰の結果を提供する効率的で低コストのツールであり、化学的使用要件が少なくなります。アセット設計により、低粒子流量、低背地金属汚染、化学物質からガスモードへの容易な切り替えが可能です。非常に高速な変換時間、手動で調整可能な蒸着速度、広いプロセスウィンドウを備えています。このモデルは、片側と両側、高密度インターコネクト、SiC、 GaN、およびその他の材料を含む幅広いウエハサイズと材料を柔軟に処理できます。LAM RESEARCH Flex 45は、CMPスラリー、PECVD、 ALDなど、アプリケーションに応じた高性能のカスタムエッチング/アッシュプロセスモジュールを提供します。Flex 45は、高度なクリーニングとエッチング/アッシングソリューションも提供しています。in-situに特化した非接触セルフクリーニング技術により、汚染を低減し、デバイスのパフォーマンスを向上させます。この装置の自動化されたプロセス制御およびメンテナンス機能は、運用を簡素化し、ダウンタイムを最小限に抑え、最大限の可用性とコスト削減を実現します。LAM RESEARCH Flex 45は、高度なエッチング/アッシング用途に最適です。高性能で完全自動化化されたケミカルエッチャー/アッシャーシステムで、包括的な機能を提供し、信頼性の高い高精度、高スループットエッチング/アッシング結果を実現します。Flex 45は、最大限の柔軟性、均一性、生産性を提供しながら、化学物質や材料のコストと無駄を削減するように設計されています。
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