中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9298284 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまな材料のエッチングおよび灰処理のための効率的で信頼性の高いプラットフォームを幅広い用途に提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。Flex 45は、エッチングおよびアッシュ操作に最適化された2つのチャンバ構成を提供します。その最初のチャンバーは、エッチング前に汚染物質のウェーハを洗浄するために低圧、高真空環境を利用しています。2番目のチャンバは、エッチング/灰の動作にプラズマ制御と均一性を提供するために最適化されています。LAM RESEARCH Flex 45は、複数のウエハサイズにわたって精密かつ均一なエッチングと灰の結果を可能にする幅広い機能を提供します。特に、高度なオートメーションプロトコルにより、直感的なメニュー駆動ソフトウェアを使用して、エッチングレシピを迅速かつ簡単に調整できます。Flex 45には、最高レベルのパフォーマンスを保証するために条件が適切に維持されていることを確認するために、さまざまなセンサーとモニターも含まれています。LAM RESEARCH Flex 45には、高出力の無線周波数電源、垂直および水平チャンバー用の複数のチャック設計、多数のガス供給システムなど、柔軟なエッチング機能を実現する幅広い加工部品と材料が装備されています。これらのコンポーネントはFlex 45独自のデュアルゾーンエッチング/アッシュ制御システムと組み合わされており、エッチング時間、ガス圧力、温度を変調して、特定の材料やアプリケーションのエッチングおよびアッシュプロセスを最適化することができます。LAM RESEARCH Flex 45は、潜在的な危険から人員を保護するさまざまな安全機能も提供しています。これらの機能には、アラームが発生した場合の自動緊急シャットオフ機能、プロセスガス、真空レベル、および温度を監視する機能、および特定の領域へのアクセスを制限する統合アクセス制御システムが含まれます。精密エッチング/アッシュ技術、高度なオートメーション機能、堅牢な安全機能を組み合わせたFlex 45は、高速かつ効率的な処理に最適なプラットフォームです。LAM RESEARCH Flex 45は、信頼性と柔軟性に優れたエッチャー/アッシャーであり、複数の材料にわたって再現可能な結果と最高レベルのパフォーマンスをユーザーに提供します。