中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9298282 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまな材料およびプロセスの生産要件を満たすように設計された高性能、高生産性のエッチング/アッシャーです。多波形RFパワー、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、高度なプロセス制御などの高度な技術を備えた汎用性の高い機器です。Flex 45は、極端な紫外線マスクと高解像度の電子ビームリソグラフィを使用して、サブミクロン分解能でウェーハ上にパターンを作成します。高度なプロセス制御ハードウェアを備えたLAM RESEARCH Flex 45では、エッチングまたはアッシングプロセスに影響を与えるパラメータを正確に制御できます。このシステムはまた、複数のガス機能を提供し、単一のウエハーまたは複数のウエハレシピを迅速に実行することができます。Flex 45ユニットは、再現性と安定性で有名であり、長時間にわたる均一なプロセス結果を可能にします。これは、機械が優れた再現性とプロセス副産物の分布を維持するという事実によってサポートされています。このツールの全体的な一貫性は、プロセスのばらつきによるラインのダウンタイムを削減するのにも役立ちます。LAM RESEARCHの技術的なノウハウと製品革新への情熱により、LAM RESEARCH Flex 45はエッチング/アッシングプロセスの効率を向上させる高度な自動化機能を提供します。その優れた機能の中には、ユーザーがエッチング領域をより迅速かつ効率的に清掃するのに役立つSelective Area Cleansing （SAC）やKinetic Energy Management （KEM）などがあります。堅牢性と汎用性がFlex 45に集約されています。このエッチング/アッシャーは、さまざまな基板上でさまざまな操作を実行することができ、厳しい性能要件を満たすように設計されています。その高度な機能により、ユーザーは従来のプロセスに比べて短い時間内に複雑な製品を生産することができます。この資産はまた、ダウンタイムを最小限に抑え、一貫したプロセスを確実にする高レベルのプロセス品質管理を提供します。