中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9281284 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまな半導体アプリケーション向けのPECVDエッチャー/アッシャーです。この高度なエッチャー/アッシャーは、サイズ、均一性、異方性を精密に制御する高分解能プロセス機能を提供します。Flex 45のチャンバー設計は、フラットボトムソースドレイン絶縁と高真空チャンバーを備えています。このチャンバは、プロセスのドリフトを減らし、基板の均一性を最適化するように設計されており、プロセッサはより高いレベルの性能に到達することができます。LAM RESEARCH Flex 45は、各ユーザーの正確なニーズに合わせてカスタマイズできるさまざまな機能と機能を提供します。調節可能な基板ヒーターと高度なマスフローコントローラ（MFC）により、二層多結晶シリコンプロセスが可能になります。これにより、フォトレジストの出血を最小限に抑え、ドーパントの吸収を最小限に抑えて、高品質な結果を得るためにプロセスを最適化することができます。内蔵の予防メンテナンス機能により、ダウンタイムを短縮し、システムが定期的にメンテナンスされてプロセスエラーを防ぐことができます。Flex 45は、チャンバーを開けたときの自動プロセスのシャットオフ、緊急ドアシャットオフ、温度設定ポイントの制限など、さまざまな安全機能も備えています。これにより、プロセスエラーを最小限に抑え、ユーザーの安全を確保します。LAM RESEARCH Flex 45は、ハイエンド半導体制御モジュール（SCM）を搭載しています。この高度なコントローラは、エッチプロセスの高度なレポート機能とトレーサビリティを提供しながら、リアルタイムでエッチレシピを監視および調整します。Flex 45は、ダウンタイムを最小限に抑え、優れたプロセス品質で最大のスループットと優れた均一性を提供するように設計されています。半導体デバイスの大量生産に最適で、幅広い技術に費用対効果と信頼性の高い結果を提供します。