中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9260520 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、精密ウエハ加工に最適な高精度エッチャー/アッシャーです。これは、生産性と汎用性の向上のために特別に開発されています。このツールは、高いスループットと短いサイクルタイムをもたらす継続的な移動プロセスを提供します。Flex 45は、単一のツールでエッチングとアッシュの両方のプロセスを組み合わせて、高スループットレートで優れた結果を提供します。LAM RESEARCH Flex 45は、エッチングと灰の両方のプロセスを同時に実行できるシングルチャンバープロセスを備えています。同じチャンバー内にエッチングとアッシュプロセスを組み合わせることで、より高品質な製品を製造するための工程を減らすことができます。この高精度エッチングおよびアッシュプロセスは、スループットを最大化し、サイクル時間を最小限に抑え、メンテナンスを最小限に抑えるように設計されています。Flex 45は、複数のウェーハを並列処理できるように設計されており、ウェーハを1つのステーションから別のステーションに転送する必要はありません。LAM RESEARCH Flex 45の設計には、反対方向に移動する2つの石英プラテンシステムが含まれています。ウェーハの変形やミスアライメントを最小限に抑えることで、再現性の向上に貢献します。プラテンシステムはまた、粒子生成を最小限に抑えるのに役立ちます。Flex 45エッチャー/アッシャーには、高度なプロセス制御および監視ソフトウェアが装備されています。このソフトウェアは、プロセス条件を最適化するために自動または手動のパラメーター調整を可能にするオンボード、リアルタイムのデータ収集ユニットで構成されています。このソフトウェアには、EtchプロセスとAshプロセスが異なるプロセス条件によってどのように影響されるかを評価するための機内種監視機も含まれています。LAM RESEARCH Flex 45は、深いウェーハエッチングなどの高い熱負荷を安全に処理するように設計されています。また、セラミックス、アルミニウム、チタンなど幅広い素材に対応しています。また、金属、誘電体、電気発光材料など、その上に堆積物を持つ表面を処理することができます。Flex 45は、高速スループットで再現可能な均一なエッチング/アッシングプロセスを提供できます。また、メンテナンスを最小限に抑え、生産性を向上させる堅牢なツール設計を備えています。