中古 LAM RESEARCH Flex 45 #9241255 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45 Asherは、ウェットエッチングとドライエッチングの両方を実行するための高精度ツールです。この装置は、正確な緯度制御と柔軟性を備えた精密エッチングおよび洗浄機能を提供するように設計されています。Flex 45のユニークな機能には、強力で自己完結型のイオンビームエッチングチャンバー、幅広いエッチングおよびクリーニングプロセス、柔らかい材料と硬い材料の両方を処理する機能が含まれます。この装置は、線形および回転変位制御、ならびにマルチステッププロセスを実行する機能を備えています。LAM RESEARCH Flex 45システムには、基板のエッチングおよびクリーニングに使用される低温プラズマ源を含む真空タイトチャンバーが含まれています。このプラズマ源は、犠牲的なエッチングと選択的エッチングの両方、およびドライクリーニング機能の両方のために設計されています。また、Flex 45にはロボットアームが内蔵されており、精密な向きと角度の位置決めとともに、基板を加工位置に移動させることができます。LAM RESEARCH Flex 45には、ロボットアームとともに、PCベースのソフトウェア、データロガー、空気圧タイマーを備えたプロセスコントロールユニットがあり、エッチングプロセスの正確なタイミングと制御が可能です。Flex 45の柔軟性は、さまざまな材料セットでさまざまなエッチング処理を実行するように設計されたため、主なセールスポイントであることが判明しました。LAM RESEARCH Flex 45は、シングルステップおよびマルチステッププロセスの両方で、RIEおよびDRIEエッチング、およびストリップエッチングを実行できます。さらに、Flex 45は窒化アルミニウムなどのエッチングしにくい材料に最適なイオンビームエッチングプロセスを提供します。LAM RESEARCH Flex 45には、これらの特殊なエッチングプロセスに加えて、ウェットエッチングおよびクリーニングプロセス、ならびに最高レベルのプロセス再現性と精度を確保するための幅広い事前調整サイクルも含まれています。Flex 45の直感的な操作マシンは、エッチングまたはクリーニングプロセスを成功させるために不可欠なほとんどのパラメータを制御する機能をユーザーに提供します。完全に自動化されたプロセス制御ツールは、LAM RESEARCH Flex 45にセルフモニター機能を提供し、プロセスのすべてのステップが正しく効率的に実行されることを確認します。高度な自動化機能と組み合わせることで、Flex 45はエッチングやクリーニング作業に最適なツールです。