中古 LAM RESEARCH Flex 45 #293809879 を販売中
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ID: 293809879
ヴィンテージ: 2007, 2009
Etchers
(1) Equipment Front-End Module (EFEM)
(1) Transport Module (TM)
(1) Gate Interface Box (GIB)
(3) C/Bs
(3) Gas boxes
(3) RF carts
(1) Air Conditioning (AC) rack
(1) Remote Process Data Box (RPDB)
(3) Load ports
Covers
(2) Parts boxes
2007, 2009 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45は、主に高度な半導体デバイス製造に使用される高度なエッチング/アッシャーツールです。Flex 45は、スペース要件を最小限に抑えながらプロセスの柔軟性を高める超小型パッケージで、高スループットエッチングおよびアッシング機能を提供します。LAM RESEARCH Flex 45は、大容量の並列処理などの高度な機器機能を備え、幅広いフィルムエッチングおよびアッシング用途に対応できます。Flex 45は、動的なプロセスパラメータを介して、さまざまなウェーハの均一性をサポートします。これらのパラメータは、オペレータコンソールのユーザーフレンドリーなインターフェイスを介して調整することができ、基板チューニング、ガス流量制御、およびソース電力が含まれます。多周波電源が利用可能なため、特定のチャネルまたはウェーハに適切な電源を選択できるため、スループットと品質が向上します。LAM RESEARCH Flex 45は、印象的なエッチングとアッシング機能に加えて、操作中に不可欠な高度な安全機能を提供します。それは自由にプログラム可能な安全連結および作動温度があるユーザー定義のしきい値を超過すれば従事する緊急のシャットダウンを備えています。これにより、人員、材料、および機器の保護が保証されます。最良の結果を得るためには、適切なトレーニングとメンテナンスがFlex 45の適切な動作に不可欠です。包括的なトレーニング手順は、操作やプロセス関連の問題を処理するために必要なツールと知識をユーザーに提供します。メンテナンスプログラムの一環として、適切な運用を確保し、予期しないダウンタイムを防止するために毎週現場検査を実施しています。結論として、LAM RESEARCH Flex 45は高度なエッチャー/アッシャーであり、半導体業界のアプリケーションに最適です。多周波電源、プロセスパラメータのチューニング機能、安全機能を備えたFlex 45は、高いスループットと高品質の結果を提供します。適切なトレーニングとメンテナンスに加えて、LAM RESEARCH Flex 45は信頼性が高く、使いやすいツールであり、最新の半導体デバイス製造プロセスの成功の基礎となります。
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