中古 LAM RESEARCH Flex 45 #293652872 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、エッチングおよびアッシング分野における複雑な基板およびアプリケーションの超精密で信頼性の高い処理を可能にするように設計された高精度エッチャー/アッシャーです。高度な動作と温度制御により、マイクロエレクトロニクス業界における重要なアプリケーションにおいて、優れたプロセス均一性、高スループット、およびタイトなフィーチャツーフィーチャー寸法制御を提供します。Flex 45は、超高解像度エッチング性能を提供するためにマイクロマシン化されたマイクロエレクトロード技術と相まって、フルフィールドの真の等方性、容量結合プラズマ（CCP）エッチング機能を備えています。LAM RESEARCH Flex 45は、プロセス中のエネルギーカップリングと電力密度をより良く制御することにより、処理時間を最小限に抑え、不均一なプラズマ露出による不要な副作用を最小限に抑えることができます。また、Flex 45は、露出、温度、その他のパラメータを素早く調整するために、リアルタイムのプロセス監視を可能にする強力なコントローラを備えた高度なプロセス制御を提供します。堅牢な構造フレームとステンレス製のチャンバーで堅牢に構築されており、幅広いプロセス条件にわたって優れた熱および機械的安定性を提供するように設計されています。また、洗練された不活性ガス管理システム（IGMS）を備えており、非常に精密で繰り返し可能なレシピ制御ガス管理を提供します。これにより、高収量エッチングまたはアッシング生産のためのプロセスパラメータを厳密に制御することで、信頼性の高い効率的なプラズマプロセスが保証されます。最後に、LAM RESEARCH Flex 45には包括的なInterface and Communication Terminal （ICT）が含まれており、自動化されたプロセス制御とデータ収集のあらゆる側面を管理するのに役立ちます。この端末は、プログラミングの時間と労力を削減するのに役立ち、オペレータは簡単にレシピにアクセスし、パラメータを設定することができます。エラー監視、パラメーター記録、可変表示機能、直感的なユーザーインターフェイスを備えています。これにより、精密エッチングとアッシングプロセスのための強力なツールとなります。