中古 LAM RESEARCH Flex 45 #293589578 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45（エッチャー/アッシャー）は、半導体業界で使用される高度なエッチング装置です。この剛性の高い多機能ツールは、複雑なエッチング操作を実行するために必要な柔軟性を提供します。高電圧、組み込みプロセス、高精度、高強度の材料を利用して、Flex 45は高品質の結果を生み出すことができます。LAM RESEARCH Flex 45の設計は、柔軟性とプロセス能力に重点を置いています。ユーザーが選択可能なエッチングチャンバーサイズ（最大45cm）を搭載しており、ユーザーは特定のニーズに合わせて機能をカスタマイズできます。アプリケーションのサイズと複雑さに応じて、同じサイズの複数のチャンバーまたは複数のチャンバーのミックスを使用してタスクを実行できます。このツールには最新のRFパルス技術も搭載されており、さまざまな材料や複雑なエッチング操作に対応するために、ユーザーはプロセスパラメータを調整し、さまざまなエッチレシピから選択することができます。さらに、複数のチャンバに単一のジェネレータを使用することで、異なるエッチングアプリケーションに追加のハードウェアやソフトウェアは必要ありません。精度を確保するために、Flex 45は完全に機械的な「オープンループ」設計を備えており、再現可能なエッチングプロセスを保証します。統合された二酸化炭素レーザー源とともに、これによりプロセスのバリエーションが小さくなり、エラーの可能性が減り、各エッチレシピのスループットが向上します。これにより、DRIE （Deep Reactive Ion Etching）などの重要な機能をエッチングし、エッチバックや化学機械平面化などの化学アプリケーションと組み合わせることも可能になります。LAM RESEARCH Flex 45は、信頼性の高いエッチングシステムであり、長時間の信頼性で動作するように設計されています。さらに、システムとそのハードウェアとソフトウェアのメンテナンスを確実にするために、多くのカスタマーサービスとサポートオプションが利用可能です。結論として、Flex 45は、望ましい高品質の結果を維持しながら、最適な柔軟性、精度、および信頼性を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。