中古 LAM RESEARCH Flex 45 #293587510 を販売中

LAM RESEARCH Flex 45は、幅広いプロセス制御と柔軟性を提供するシングルウェーハエッチングおよびアッシャーツールです。業界をリードするチャンバー設計により、プログラマブルドライブやアクティブ流体制御、高度なプロセス均一性、および優れた粒子制御などの特許技術が含まれています。これにより、MEMS、ナノ加工、および精密エッチングおよびアッシングプロセスを必要とするその他のアプリケーションに最適です。内部アーキテクチャは、シングルウェーハパラレルエッチングおよびアッシング用に設計されており、高スループットと高度なプロセス均一性を実現します。これにより、さまざまな半導体アプリケーションのエッチングおよびアッシング用途に最適です。Flex 45は、単一のプラットフォームでさまざまなプロセスをサポートする大面積チャンバを備えています。ターボチャージャー設計と幅広いmVおよびnA精密エッチングおよびアッシング技術を搭載しており、幅広い用途に対応しています。アクティブなフロー制御システムにより、自動的に流量と圧力を調整することにより、エッチングおよびアッシングプロセスの高い均一性を保証します。さらに、プロセス制御技術は総所有コストを削減し、エッチングおよびアッシング用途に高度なプロセス制御と均一性を提供します。このエッチングとアッシャーは、クリーンでパーティクルフリーエッチングとアッシングチャンバーを保証する高度なフィルターソリューションを備えた優れたパーティクルコントロールも提供します。自己診断やリモートモニタリングなどの高度なエンジニアリング機能を備えており、最適な稼働時間と信頼性の高いパフォーマンスを保証します。また、ウェーハやプロセス部品の損傷を防止するためのセンサーやインターロックなど、幅広い安全機能を備えています。全体として、LAM RESEARCH Flex 45は、さまざまなアプリケーションで優れた品質と信頼性の高いパフォーマンスを保証する多数の機能を備えた真にユニークなエッチングおよびアッシャーです。高度なプロセス制御と均一性、優れた粒子制御、優れた信頼性と稼働時間を兼ね備えたFlex 45は、精密エッチングとアッシングを必要とするアプリケーションに最適です。