中古 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9314231 を販売中

LAM RESEARCH Extima 3100は、微細加工された半導体およびMEMS部品のための精密で高品質のエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、均一なカバレッジと微細なライン分解能の両方を達成するために必要な高度な機能を提供し、特殊なマイクロエレクトロニクスデバイスの生産を可能にします。スループットを向上させ、エッチング深度を広げるための先進的な材料を採用しています。また、クリーンで再現性のある処理結果に必要な厳しい仕様を満たすように設計されています。Extima 3100は、ガス混合比コントローラと複数の速度選択を備えた先進的な指向性エッチングユニットを備えているため、さまざまな材料を迅速かつ正確に、繰り返しエッチングおよびアッシャーすることができます。また、エッチングプロセスを極めて正確に制御できる高精度のエンドポイント検出機を備えています。このツールを使用すると、エッチング時間と所望の機能サイズを簡単に監視および最適化できます。さらに、アセットの制御ソフトウェアは、プロセスパルスやバイアスRFエッチングなど、さまざまなモードでの動作を可能にします。LAM RESEARCH Extima 3100エッチャー/アッシャーには、再現可能なプロセスに最適なチャンバー条件を維持する自動補充モデルが含まれています。処理ガスを継続的に循環および補充するため、装置は手動で追加する必要がなくなり、プロセスのメンテナンス間隔を延長するのに役立ちます。さらに、統合されたツールセットアッププログラムは、長いセットアップ時間を必要とせず、一貫した生産スループットを実現します。このシステムは強力なソフトウェアスイートとともに、さまざまなユーザー定義プロセスと完全なSPC （Statistical Process Control）サポートを提供します。これにより、レシピ生成機能と完全な記録保持機能を含む、完全でカスタマイズ可能なプロセス制御がユーザーに提供されます。まとめると、LAM RESEARCH Extima 3100エッチャー/アッシャーは、複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための強力なユニットを提供します。高度なエッチング機能と幅広い制御オプションにより、一貫した高品質な結果を得るために必要な精度と再現性を提供します。自動補充機によりメンテナンスとセットアップが簡素化され、使いやすいソフトウェアスイートが再現性のあるエラーのないプロセスを実現します。最後に、SPCとレシピ生成機能を備えたExtima 3100は、専用のハイエンドデバイスを提供するために必要な柔軟性と制御をユーザーに提供します。