中古 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270994 を販売中

LAM RESEARCH Extrima 3100は、半導体製造のために設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、真空ベースのプロセスを使用して、パターンやフィーチャーを基板材料にエッチングします。エッチング処理は、プラズマ、反応性イオン、揮発性ガスを利用して、さまざまな形状、サイズ、深さのパターンを作成します。Extrima 3100ユニットは誘電体エッチャーと呼ばれることが多く、ハードマスク（HM）プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、ドライエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）などのプロセスに最適化されています。このマシンにはマルチソースのDC電源が搭載されており、最大の25kW電力を供給します。高いスループット、優れた均一性、タイトなプロセス制御、高速なプロセス実行時間を実現するように設計されています。LAM RESEARCH Extrima 3100には、半導体製造の魅力的なオプションとなる多くの機能と機能が搭載されています。RFパワー、RF周波数、ガス圧力、タイミング、プロセス圧力などのプロセスパラメータを正確かつ簡単にプログラムおよび調整できるプロセスコントロール機能を備えています。このツールは、詳細なプロセス結果を提供するためのデータポイントの収集など、高度なプロセス分析を実行することもできます。さらに、このアセットは包括的なウェハマップとプロセス履歴レポートを生成できます。Extrima 3100は、潜在的な危険からユーザーを保護するために設計された革新的な安全モデルを採用しています。その安全装置は圧力救助のドア、安全インターロック、温度、流れおよびガスのモニターおよび緊急停止ボタンを含んでいます。このシステムは、さらに潜在的な危険を制限するために、非蒸発性ゲッター（NEG）ポンプ絶縁バルブで構成することもできます。全体として、LAM RESEARCH Extrima 3100は強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーユニットです。その特徴と機能は、半導体製造に最適なソリューションです。その精度、安全性、使いやすさは、あらゆる製造プロセスにとって間違いなく魅力的な選択肢です。