中古 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270874 を販売中

LAM RESEARCH Extrima 3100は、半導体エッチングおよび基板調製用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この汎用性の高いマシンは、さまざまな機能を備えた優れたエッチング性能を提供し、効率的なウェーハ処理を可能にします。機械は堅牢なプロセスパラメータを備えており、手元のアプリケーションに合わせてカスタマイズすることができます。高精度のDCバイアス電源を搭載し、最大プロセス制御で精密エッチングを実現します。デュアルゾーンリニアエッチングシステムは、高速スキャン速度で高いスループットエッチングを実現します。エッチングチャンバーは、均一なエッチングと基板保護のためにセラミックライニングされています。さらに、処理中に静電気を中和するために、統合されたイオナイザーが装備されています。自動化されたプロセス制御と低消費電力機能により、エネルギー使用量を最小限に抑えた最適なエッチング性能を実現します。また、コンパクトな設計で信頼性の高いパフォーマンスを提供し、タッチスクリーンのコントロールパネルは直感的に動作します。Extrima 3100は、コアエッチング/アッシング機能に加えて、厚さ測定、結晶解析、PVD解析などの分析および診断機能も提供します。また、運転・メンテナンスを向上させる安全機能も搭載しています。LAM RESEARCH Extrima 3100は、優れたエッチング性能を提供するために半導体産業のために特別に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。さまざまなプロセスパラメータと統合された分析および診断機能により、高精度で信頼性の高い効率的なウェーハ処理が可能になります。高速で精密なエッチングと基板調製アプリケーションに最適な機械です。