中古 LAM RESEARCH Extrima 300NX #9246538 を販売中

LAM RESEARCH Extrima 300NXは、産業用および研究用のさまざまなタスクに最適な高度なプラズマエッチャー/アッシャーです。6 × 10-7 torrのベースプレッシャーと0。1 torrまでの調整可能なフォワードプレッシャーを備えているため、エッチングプロセスを非常に正確に制御できます。統合されたソフトウェアインターフェイスにより、リアルタイムパラメトリックレシピとエッチング特性のオンザフライチューニングが可能です。特許取得済みの独自設計、Triode RFソース、および0〜200ワットの電源範囲により、簡単な操作で低コストで高品質の結果を提供できます。大容量の4インチクォーツチューブと40mm幅のベローズを備え、汚染物質を排除し、バッチまたはシングルウェーハモードでエッチングすることができます。300NXは、プロセスサイクリング時間が速く、プログラム可能なターンテーブルを備えており、特定の要件に対するエッチングプロセスの最適化を可能にします。基板ホルダーは、異なるエッチング工程で簡単に変更できる基板の正確な位置決めと取り扱いを可能にします。このシステムには、安心して操作できるように設計されたさまざまな安全機能が装備されています。基板の積み降ろしを容易にするために、左側のローダーに取り付けることができ、安全でクリーンな環境のために装置内のプロセスガスを保持するように設計されています。エッチャー/アッシャーには、ガスフローモニターとアラーム、および有毒または危険な粒子から周囲の環境を保護する不活性ガスのパージ機械とフィルターも含まれています。これらの先進的な機能を備えたExtrima 300NXは、幅広い材料に対応するエッチング操作の最も要求の厳しいニーズを満たすように設計されています。