中古 LAM RESEARCH Exelan #9251056 を販売中
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LAM RESEARCH Exelanは、優れたコストパフォーマンスを提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、柔軟性、制御性、信頼性を提供することで、お客様が変化する市場ニーズに適応できるユニークな革新的なソリューションを提供します。エクセランは、半導体、フォトマスク、抵抗器、キャピラリーシステム、パッケージング、ウェーハなど、幅広い素材をエッチング・アッシングできる高度なエッチングシステムです。単位は正確で、精密レベルでエッチングが可能です。LAM RESEARCH Exelanには、エッチングとアッシングを簡単にする機能が多数付属しています。このマシンは強力なコントローラで構築され、ユーザーがその設定やパラメータを制御することができ、必要に応じてエッチング時間、温度、およびその他の設定を制御することができます統合された設計を提供しています。ユーザーインターフェイスは直感的でユーザーフレンドリーであり、すべてのプロセスが正確かつ安全に実行されるように監視機能が組み込まれています。このツールは、自動化されたハイスループットクリーニングとエッチング、ならびに自動ウェハローディング能力を提供します。また、様々な蒸着源で動作し、プロセスの再現性を確保するためのさまざまなプログラム可能な設定（パターン認識を含む）を提供しています。エクセランはまた、モデルが安全に動作するように、不活性な雰囲気や排気資産などの高度な安全機能の範囲を持っています。LAM RESEARCH Exelanは、エネルギー効率に優れた機器です。ガス消費を最小限に抑えたドライエッチングが可能で、その部品は信頼性の高い電力を誇り、寿命を延ばし、メンテナンスコストを削減します。このシステムは、直感的なソフトウェアインターフェイスを備えており、エッチプロセスフロー経路の制御を強化し、ウェーハの詳細なトレーサビリティを提供します。Exelanの現在および将来のアプリケーションには、障壁、トレンチ、開口部のファインラインパターニングおよびエッチング、ウェハレベルのパッケージングアプリケーションおよびMEMS製造が含まれます。高度な機能、信頼性の高いパワー、使いやすさを兼ね備えたこのユニットは、効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いエッチングとアッシングを求める企業にとって理想的な選択肢です。
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