中古 LAM RESEARCH Exelan #9235218 を販売中

LAM RESEARCH Exelanは、半導体材料のエッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。それはエッチングとアッシングのプロセスを効率的かつ正確にする多数の機能を持っています。システムは、ガスパネル、プラズマ源、コントローラ、真空チャンバーで構成されています。エクセランガスパネルは、エッチングおよびアッシングプロセスに使用される反応ガスの供給と組成を正確に制御するように設計されています。さまざまなコネクタ、バルブ、パイプ、レギュレータが付属しており、エッチングおよびアッシング用途で複数のガスを使用できます。LAM RESEARCH Exelanプラズマ源は、材料の基板の温度が数千°Cまで上昇するように設計されています。この高温環境により、反応性ガス分子は、熱エッチングまたはイオン補助エッチングによって基板からターゲット材料を除去することができます。Exelanのコントローラーはエッチングおよびashingプロセスの精密制御そして監視を提供します。プロセスオートメーションを可能にする強力なプログラマブルロジックコントローラまたはPLCを搭載しているため、人件費が低くスループットが向上します。コントローラにはグラフィックユーザーインターフェイスがあり、エッチングとアッシングプロセスを簡単に設定および制御できます。LAM RESEARCH Exelanエッチャー/アッシャーユニットの真空チャンバーは、汚染のリスクを低減し、プロセス歩留まりを改善するために真空環境を作り出すために密閉されています。また、プロセス中に最適な真空圧力と温度制御を確保するために、さまざまなポンプおよび補助システムが付属しています。エクセランエッチャー/アッシャーマシンは、高度な機能、優れたデューティサイクル機能、精密エッチングプロセス、および優れた信頼性により、半導体材料のエッチングとアッシングに最適なツールです。また、最高レベルの品質と信頼性を備えた半導体製品を製造するための費用対効果の高い方法を探している企業にとっても最適です。