中古 LAM RESEARCH Exelan #293615013 を販売中

LAM RESEARCH Exelanは、エッチング速度と均一性を正確に制御できるように設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチチャンバーの特徴は、最大8インチウェーハの処理に対応できるほどの大きさです。エクセランは、シリコン、石英、その他の様々な基板に適応することができます。LAM RESEARCH Exelanのデスクトップエッチング機器は、プロセス制御インタフェースがシンプルで、自動化された処理が可能です。強力なプロセス制御アルゴリズムを使用して、より高速なランプレートと正確なエッチングレート制御を容易にします。エッチングプロセスレシピを幅広くサポートするカスタムデザインのハードウェアを備えており、基板ごとに精密なエッチング制御が可能です。Exelanのプラットフォームレベルの真空システムは、二重拡散ポンプ構成を利用して、高レベルの真空を提供します。専用のマイクロコントローラとレーザーベースのフィードバックループを備え、チャンバー圧力を制御して粒子汚染を低減します。エッチャーは、さまざまな生産ワークフローシステムをサポートするように設計されています。また、エッチングによる真空圧力変動を抑制し、オペレータと機器の安全性を確保する安全機構を備えています。LAM RESEARCHのExelanの単位は選択の化学薬品と使用されるように形成されます。それは乾燥した化学薬品を受け取ることができ、使用された化学薬品は取除くことができる2つの満ち、空の港を特色にします。また、エッチングプロセスのガス成分を安全に除去するための真空排気ポートも含まれています。Exelanは、高解像度のエッチングプロファイルを提供する信頼性と信頼性の高いエッチャーマシンです。これは、クロスプラットフォーム互換性を提供するように設計されており、ユーザーは最小限の労力で異なるファブリケーター間を切り替えることができます。高度なピッチキャッチエッチコントロール戦略を使用して、エッチング深度の非均一性を最小限に抑え、一貫して正確なエッチング結果を保証します。LAM RESEARCH Exelanは、繰り返し可能で高品質な結果を提供できる時間と費用対効果の高いエッチャーツールです。MEMS、高アスペクト比、内蔵バックサイドエッチングなど、さまざまなエッチング用途に最適です。柔軟性と低所有コストを提供し、産業機関や学術機関にとって理想的な選択肢となっています。