中古 LAM RESEARCH Exelan #293615012 を販売中

LAM RESEARCH Exelanは、大量のIC生産用に設計された、費用対効果の高い高性能エッチャー/アッシャーです。精密で再現性のあるパラメータを提供しながら、非常に厳しいエッチングとアッシング処理を行うことができる、先進的な生産クラスの製造設備です。Exelanは堅牢で信頼性の高い性能を提供するため、大量のICの製造に最適です。LAM RESEARCH Exelanは、エンドポイント検出技術を統合した完全統合プラズマエッチングシステムを利用しています。この統合されたオートメーションユニットは、正確なプロセス制御と高性能スループットを提供します。このマシンは、最も要求の厳しいエッチング作業のための複数のエッチングおよびアッシング機能と、最も困難な化合物をエッチングする機能を備えています。Exelanは、パラレルプレート高周波電源を使用して低圧プラズマ充電を実現し、プラズマエッチング工程を正確に制御します。さらに、基層に損傷を与えることなく、広い温度範囲で均一なエッチングを実現することで、高率の材料除去を実現します。また、高解像度のイメージング機能も提供します。LAM RESEARCH Exelanは、エッチングおよびアッシング機能に加えて、生産効率を最大化し、サイクルタイムを短縮するために設計されたいくつかの補助サービスも提供しています。これには、自動化されたチャンバークリーニングとメンテナンス、ならびに安全性と品質管理を向上させるための自動化されたプロセス監視が含まれます。Exelanは、オペレータの相互作用を簡素化するためにも設計されています。カラーディスプレイとメニューを備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えており、効率的かつ効果的な操作を保証します。LAM RESEARCH Exelanにはリモートアクセス機能もあり、ユーザーは遠隔地からエッチャーをプログラムして監視することができます。Exelanは、大容量IC生産のための強力で汎用性の高いツールです。高度なエッチングとアッシング機能、高度な自動化と監視ツール、直感的なユーザーインターフェイスにより、要求の厳しいエッチングプロセスに最適なソリューションです。信頼できる運用と一貫した結果により、生産性が向上し、歩留まりが向上します。