中古 LAM RESEARCH Exelan #293614971 を販売中

LAM RESEARCH Exelanは、半導体ウェーハ処理用の高度なエッチャーおよびアッシャーです。これは、すべての蒸着アプリケーションで優れた精度、再現性、および信頼性を提供する最先端のコントローラを備えたシングルチャンバーアッシャーです。エクセランは、多種多様な化学薬品やエッチング化学薬品を用いて、複数の基板を同時にエッチング・アッシングすることができます。さらに、LAM RESEARCH Exelanは、安全性、材料効率、コスト削減を最大化するプロセスチャンバーで設計されています。エクセランは、金属、化合物半導体、ポリマー、カーボンナノチューブなどの幅広い材料をエッチングし、アッシャーするように設計されています。これにより、サンプルサイズが限られていても均一な結果を得ることができるため、迅速な納期を必要とするアプリケーションに最適です。LAM RESEARCH Exelanのコントローラは、プロセスパラメータ設定の柔軟性を可能にするように設計されており、お客様の研究開発アプリケーションに適しています。機械に有効な表面の清潔さおよび部屋の維持のためのブラシのスクラブを利用する自動部屋のクリーニング装置があります。これは、プロセスの信頼性と再現性を高める自動パージと通気によって補完されます。また、表面汚染が有害である可能性があるアプリケーションで有益である粒子状汚染を最小限に抑えるのに役立つ窒素オーバーホールシステムを備えています。安全な作業環境を確保するため、Exelanには爆発検出ユニットがあります。この機械は、半導体ウェーハが露出する前にチャンバー内のガスを監視することで爆発反応のリスクを低減することができるため、半導体ウェーハの製造に特に役立ちます。LAM RESEARCH Exelanは、粒子汚染の確率を最小限に抑える密閉されたプロセスチャンバーを備えていますが、このチャンバーはプロセス障害の可能性を低減するように設計されています。全体的に、Exelanはすべての沈殿プロセスの優秀な精密そして再現性を保障する有効で、信頼できるエッチャーおよびasherです。高度なコントローラ、自動チャンバークリーニングツール、窒素オーバーホール資産、および爆発検出モデルは、装置が安全な作業条件を維持することを確認し、密閉されたプロセスチャンバーはウェーハ生産のための最大の安全性と信頼性を保証します。