中古 LAM RESEARCH Exelan A6 #9090420 を販売中

LAM RESEARCH Exelan A6は、高品質のエッチング微細構造の大量生産用に設計されたエッチング/アッシャーです。Deep Reactive-Ion Etching （DRIE）、 Bosch Process、 Wet Etchingなどの複数のプロセスで簡単に再構成できる標準プロセスモジュールに対応できるため、メーカーにとって経済的で信頼できるソリューションです。Exelan A6はすべてのプロセス区域を収容する厳密な安全エンクロージャに取り外し可能な部屋が付いているオールメタル構造を特色にします。さらに、LAM RESEARCH Exelan A6には独自のソフトウェアインターフェイスが搭載されており、さまざまなパラメータに対して機器を迅速かつ正確に設定できます。Exelan A6の主な特徴は、圧力、温度、タイミングを制御する内蔵の安全機構です。専用ソフトウェアで圧力、温度、タイミングを調整することができ、部品を損傷するリスクを低減します。さらに、3つの冗長デリバリーシステム、3つの独立したレーザー、3つの独立した圧力容器を備えており、異なるタイプのエッチングガスを持つ複数の層を効率的にエッチングすることができます。LAM RESEARCH Exelan A6は、自動ユニットのオン/オフ機能、振動減衰、緊急停止ボタンも提供します。これにより、ユーザーとプラント環境の最大限の安全性が確保されます。エクセランA 6は、基板に関連する潜在的な損傷や汚染の可能性を低減するように設計されています。基板と互換性のある化学物質を使用しながら、高精度で信頼性の高い結果を出すことができ、最終製品の品質を保証します。さらに、エッチングされた微細構造の連続的で低消費電力の顕微鏡検査のための自動計測ソリューションも含まれています。これにより、ユーザーはエッチングされた構造を監視し、望ましい結果からの潜在的な欠陥や偏差を検出することができます。さらに、LAM RESEARCH Exelan A6には、火花や火災などの潜在的な危険からユーザーを保護するために必要なすべての安全装置があります。全体的に、Exelan A6は、エッチング/アッシャー生産のための高度で信頼性が高く安全なツールです。内蔵の安全メカニズムにより、基板に付随する汚染や損傷のリスクを低減します。一方、内蔵のハードウェアとソフトウェアにより、高速で正確で信頼性の高い結果が得られます。さらに、自動計測ソリューションはエッチングされた微細構造を継続的に評価し、最終製品の望ましい品質を保証します。これらの機能のすべては、LAM RESEARCH Exelan A6メーカーにとって優れた選択肢となります。