中古 LAM RESEARCH EOS #293666971 を販売中

LAM RESEARCH EOSは、オープンプラットフォーム設計による高度なエッチング/アッシングソリューションで、エッチング速度と深さを正確に制御した高品質のマイクロストラクチャーを作成できます。SiN、 SiO2、 Si3N4、ポリシリコンなど、さまざまな基板に精密な微細構造を作成することができます。また、最大圧力800mtorrまでのガス供給オプションを提供し、高解像度のレジストフィルムを製造することができます。EOSは、均一なエッチングとアッシングのプロセスと一貫した結果を維持する統合温度制御システムを備えています。プログラミングインターフェイスにより、ユーザーは複数のエッチレシピを設計し、高い精度と再現性で望ましい結果を得ることができます。LAM RESEARCH EOSにまた腐食性の代理店および煙から人員を保護するように設計されている高度の安全システムがあります。最後に、このプラットフォームは他のツールやシステムと容易に統合できるように設計されており、ユーザーはその機能を拡張し、最小限の労力でより高い生産性を達成することができます。