中古 LAM RESEARCH EOS #293666965 を販売中

LAM RESEARCH EOSは、半導体加工に広く使用されているエッチャー/アッシャーです。この高度なエッチング技術は、エッチング工程の精度を高め、小さな部品の精密エッチングを可能にします。通常、パターン化されたウェーハエッチングに使用されるため、短いサイクルで高精度でスムーズなエッチングが可能です。EOSエッチャーは、自動サセプター監視とウェーハアライメントを備えた使いやすい機器と、シングルチャンバーエッチングシステムで構成されています。メインプロセスチャンバーは、幅広い温度範囲で動作する高均一かつ効率的な高密度プラズマエッチング環境を提供します。LAM RESEARCH EOSユニットは、プロセス最適化ツールを提供することにより、非常に精密なエッチング制御を可能にします。エッチングガスの供給、圧力、温度、エッチング速度などのパラメータを素早く正確に調整し、エッチング品質を最適化する自動チューニングマシンを提供します。EOSにはデュアルソース機能が内蔵されており、2つの異なるエッチング化学物質を同時に使用できるため、エッチング処理の生産性が向上します。このツールは、ウェーハの損傷や汚染のリスクを最小限に抑えるように設計されており、複雑なエッチング作業を効率的かつ一貫して管理することができます。さらに、LAM RESEARCH EOSは高速サイクルタイムも可能です。それは時間のかかる洗浄ステップを最小限に抑えるように設計されており、資産は1分未満でいくつかのウェットエッチングサイクルを完了することができます。EOSモデルはまた、精密な露光時間で非常に細かく制御されたエッチングを提供することができます。これにより、非常に小さな機能をエッチングする場合でも、高品質のエッチングが保証されます。LAM RESEARCH EOSの高度な機能により、幅広いエッチング操作に最適です。精度を犠牲にすることなく、大小の機能を高精度にエッチングすることができます。装置は非常に信頼性が高く、生産に最適化されているため、多くのエッチング用途に理想的な機器選択肢となります。EOSは、高速サイクルタイムで高品質のエッチングを迅速に生成するように設計されており、時間とコストを節約する費用対効果の高いソリューションです。