中古 LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #9393585 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Etcher/Asherは、高度なエッチングとアッシング技術を念頭に置いて設計されています。LAM RESEARCHのこの革新的なチャンバーは、濡れたエッチングと乾燥したエッチングとアッシングプロセスの両方で最大限のプロセスカバレッジと柔軟性を提供します。低温エッチングやデスミアをサポートする3次元プラズマ、ディープリアクティブイオンエッチング、プラズマアッシングなどの先端技術を搭載しています。また、自動化されたプロセスドアを備えており、手動で配置する必要なく、サンプルへの迅速かつ簡単なアクセスを保証します。チャンバーの圧力範囲は75 torr、圧力範囲は1〜2 milliTorrです。この2300EXPには、プロセスの歩留まりを最大化し、ダウンタイムを削減するように設計されたいくつかの機能が装備されています。大面積の基板全体で均一なプロセスを保証する均一性制御機能と、ウェーハをASHするとチャンバを所望の圧力に素早く排気するプロセス排気システムを備えています。2300 Exelan Flexの機能には、金属シールホース接続、不活性フィルムヒーター、マルチアーム静電チャッキング、低温プロセスの機能も含まれます。自動引き込み式アームサポート、不活性ガスパネル、自動ガスバルブ、ウェーハアライメントケーキを備えています。このチャンバーには、高速で効率的なプロセス実行を可能にする自動ガス、プラズマ、ウェハハンドリングシステムも含まれています。内蔵のプロセス監視システムは、エラーチェックを可能にし、エッチングとアッシング速度の変動とプロセスの不安定性を検出することができます。サンプルは、完成前に不規則性または欠陥を監視して確認することもできます。チャンバ全体のサイズは26 "w x 32" d x 35 "hで、チャンバは8つの2"ウェーハまたは4つの4"ウェーハを処理する機能を備えています。これは、誘導結合プラズマ、無線周波数、バイアスプラズマなど、多くの異なるプラズマ源と互換性があります。チャンバーの合計ガス入力は1。4リットル/分です。全体として、LAM RESEARCHの2300 Exelan Flexは、柔軟性と汎用性と信頼性の高い一貫したプロセス制御を組み合わせた高度なエッチャー/アッシャーです。このユニットは、幅広いエッチングとアッシングのレシピに対応でき、ウェットおよびドライエッチングとアッシングの両方のマルチステッププロセスに優れた均一性と信頼性を提供します。