中古 LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX #9240243 を販売中
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LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FXは、半導体製造業向けに設計された先進的なプラズマエッチャーおよびアッシャーです。さまざまな素材の精密で信頼性の高いエッチングとアッシングを、さまざまなデバイス用途に提供します。自動化されたコンピュータ制御装置は、プロセスのセットアップ、調整、レシピ開発、および最適化された生産結果のためのデータ収集を処理します。このチャンバーは完全に自動化されたExelan Flex FXプロセスを備えており、エッチングとアッシングのための幅広い選択可能な条件を提供し、人間の介入を最小限に抑えて優れたプロセス制御を可能にします。このシステムは、幅2〜8フィートのさまざまなチャンバーサイズで動作し、優れたエッチング選択性とプロセス安定性を確保するためにTiN/TiCN（窒化チタン/炭化チタン）めっきチャンバーを備えています。このユニットには、粒子状汚染のリスクを低減し、プロセスアクセスと断熱性を向上させます。このチャンバーは、高度なプロセス監視と制御も提供します。マルチチャネル水晶RFパワーモニター、RF電圧、温度、圧力、および2軸プレッシャーレコーダーが搭載されています。さらに、Exelan Flex FXには、独立したRFおよびDCバイアス制御用の2つのガス源が含まれており、最大のエッチング選択性と生産性の向上を実現します。自動化されたロボットローダー/アンローダーも設置されており、ロードまたはアンロードされたバッチごとに迅速なターンアラウンドタイムを提供します。このチャンバーは、シリコン、酸化ケイ素、窒化ケイ素、金属などのさまざまな材料のエッチングを含む、幅広いプロセスレシピとオプションに対応するように設計されています。このチャンバーのモジュール設計と統合ツールにより、各アプリケーションに最適なプロセス結果を達成するために、迅速かつ効率的なチューニングが可能になります。さらに、このマシンは、800 -150mmの小さなウェーハバッチまで、単一のウェーハを含む様々なバッチタイプと互換性があります。2300のための部屋Exelan Flex FXは半導体の製造業で使用される非常に先進的、信頼できる、多目的エッチャー/アッシャーです。その高度な機能は、ユーザーに優れたプロセス結果を最大限に制御し、柔軟性を提供します。
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