中古 LAM RESEARCH Autoetch 790 #9300198 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 790は、半導体、MEMS、およびオプトエレクトロニクス産業の要件を満たすように特別に設計された高性能エッチャー/アッシャーです。高度に構成可能なアーキテクチャを備えており、ユーザーは個々のニーズに合わせてカスタマイズできます。Autoetch 790は、安全性と信頼性を重視しながら、正確なエッチング制御と低い運用コストを提供するように設計されています。この装置は、高度な大面積基板デリバリーシステムを備えており、均一なウェーハ処理を提供し、最大8インチウェーハを処理することができます。大面積基板デリバリーユニットは、マルチシカゴウェハローディングとウェハグループ化も可能です。このマシンは、基板の清潔性を確保し、ウェーハ全体に均一なエッチング濃度を提供する完全自動化された基板前処理プロセスで設計されています。LAM RESEARCH Autoetch 790は、エッチング材の正確な温度制御を可能にする高度なデジタル温度制御モジュールも備えています。これにより、エッチング消費を最小限に抑えながら基板の均一な加工が可能になります。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、レシピパラメータを迅速かつ簡単に選択し、プロセス条件を監視し、潜在的なプロセスの欠陥を検出するのに役立ちます。Autoetch 790には、エッチング残留物や有害物質を除去することにより、環境への影響を最小限に抑える効率的なプロセス排気ツールが装備されています。また、モデル内に含まれる粒子、発煙、およびプロセス化学物質を保持する高度な封じ込め資産も備えています。これにより、設備が施設を汚染したり、人員を危険にさらしたりしないようにします。このシステムは、フォルト監視、静的および動的圧力制御、エンドオブランセンサー、緊急停止などの複数の安全機能を備えています。さらに、適用されるすべての安全基準を満たすように設計されており、クラス1、ディビジョン1、 グループDの有害物質環境で使用することが認定されています。LAM RESEARCH Autoetch 790は、半導体、MEMS、およびオプトエレクトロニクス産業の要件を満たすように設計された、堅牢で信頼性が高く、使いやすいエッチャー/アッシャーです。精密なエッチング制御、低い運用コスト、高い安全性と信頼性を提供します。