中古 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9300196 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 590は、半導体製造に使用される高度なプラズマエッチャーおよびアッシャーです。同時均一性とプラズマ密度を兼ね備えた小型・大型部品のエッチング・アッシングが可能な多段アッシャーエッチング装置です。Autoetch 590は、時間とコスト効率の両方で最高品質の最終製品を作成するように設計されています。LAM RESEARCH Autoetch 590は、完全に自動化されたオープンフレーム設計により、最大限のシステムアクセスを実現し、エッチングとアッシュ部品に2段階の操作を使用します。第1段階は迅速かつ正確なエッチング時間を提供し、第2段階はより均一なプラズマ密度のためのフリーラジカルの一定の放出を生成する修正されたアッシング技術を利用します。このプロセスは、部品の損傷や浸食のリスクなしに優れたエッチング結果を提供します。Autoetch 590はまた、エッチングおよびアッシングプロセスの高度な制御を提供し、RFパワーとエッチングのサイクルタイムの両方を正確に制御します。その自動セルフチューニング機能は、一連のテストを組み合わせて、最適なエッチング性能を得るためにプラズマ生成を調整し、最適なエッチングとアッシングの結果を得ることができます。高度なユニットは、エッチングとアッシングのための特定の要件に合わせて変更することもできます。また、複数のDC電源に対応することができ、複数のコンポーネントを同時にエッチングおよびアッシュすることができます。LAM RESEARCH Autoetch 590は、あらゆる種類のエッチングおよびアッシング用途において、信頼性が高く、再現性が高く、長持ちする性能を提供します。さらに、このマシンにはオプションの高度なプロセス監視機能も用意されており、ユーザーはツールのパフォーマンスを追跡できるだけでなく、緊急時のシャットダウン機能を提供して安全性を高めます。高度な機能と機能を備えたAutoetch 590は、さまざまなコンポーネントをエッチングしてアッシュするための優れたツールです。