中古 LAM RESEARCH Autoetch 590 #9201785 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 590は、最先端のプラズマアッシャーとエッチャーです。その新しい熱処理技術は、幅広いプロセスアプリケーションで一貫して高品質のエッチングおよびプラズマ処理を提供します。Autoetch 590は、統合されたエッチャー/プラズマシステムを備えており、エッチングおよびプラズマ操作のスループットとフットプリントの削減を実現します。LAM RESEARCH Autoetch 590は、フラットパネルディスプレイと大型基板を高解像度エッチングと均一なプラズマ処理で基板全体に処理することができます。プロセスチャンバーのサイズは最大12インチ（30cm）、最大基板サイズは10。4インチ（26cm）で、広い領域に最大限の柔軟性を提供します。このデバイスはまた、幅広い業界標準のエッチングおよびプラズマ化学および溶媒との互換性を提供します。Autoetch 590には統合制御システムが搭載されており、すべてのエッチングおよびプラズマプロセスを正確に制御および監視できます。コントローラには、最大限のプロセス最適化を保証するために、さまざまなプロセスパラメータ設定が含まれています。また、複数の自動安全機能を備えており、安全性と信頼性を確保しています。LAM RESEARCH Autoetch 590は、ユニットの上側からアクセス可能なすべてのコンポーネントで、簡単なメンテナンスのために設計されています。フィルター交換などの標準的なメンテナンス作業は、ツールを必要とせずに完了できます。調整可能なガスフローバルブとパーティクルカウンターを備えており、ユーザーは正確な結果を得るためにガスフローを最適化することができます。Autoetch 590には、プロセスパラメータをリアルタイムで追跡および記録する自動監視システムが装備されています。これにより、オペレータはプロセスの状態をよりよく評価し、必要に応じて調整を行うことができます。さまざまな機能を内蔵したLAM RESEARCH Autoetch 590は、インターネットに接続したPCから遠隔操作することができます。全体的にAutoetch 590は、効率的で信頼性が高く、汎用性の高いプラズマアッシャーとエッチャーを提供し、幅広いディスプレイおよびソーラーアプリケーションに対応します。LAM RESEARCH Autoetch 590は、優れた制御、精密なプロセス最適化、簡単なメンテナンスにより、高品質のエッチングおよびプラズマ操作に最適なツールです。