中古 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293811811 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 590は、さまざまなアプリケーション向けに設計されたエッチャーおよびアッシャーです。金属からセラミックス、ポリマーまでの材料加工が可能です。Autoetch 590は、7。5インチx 7。5インチ（190 x 190 mm）までの基板の取り扱いに適したプロセスチャンバーを備えており、175 mmまでのウェーハ処理が可能です。この装置は、プロセスの汎用性を提供しながら、高精度で反復可能な結果を達成することができます。LAM RESEARCH Autoetch 590は、ドライエッチング、ウェットエッチング、プラズマエッチング、アッシュ、ディップエッチングなど、幅広いエッチング処理を利用しています。Autoetch 590では、エッチング時間とパワーパラメータを細かく制御することができ、均一なプロセス制御が可能です。LAM RESEARCH Autoetch 590は、完全に統合された自動ローディングシステムを備えており、プロセスのアライメントとプロセス結果を再現できます。Autoetch 590動作パラメータ、公差、レシピを設定し、最適なユニット性能を確保するためにプログラムするのは簡単です。LAM RESEARCH Autoetch 590は、プロセスを中断する必要なく、プロセスのトラブルシューティングや最適化を可能にするリアルタイムステータスディスプレイを備えています。Autoetch 590には、さまざまな基板に設定できるRFジェネレータと電源も含まれています。RF機能は、エッチング中のプロセス領域の汚染を最小限に抑えるのに役立ちます。LAM RESEARCH Autoetch 590には、エッチングプロセスの結果を追跡し、必要なパラメータが満たされていることを確認できる高度なプロセスモニタが含まれています。Autoetch 590はリモートコントロール機能も備えており、遠隔地からマシンを操作できます。LAM RESEARCH Autoetch 590は、Windows、 Mac、 Linuxなどのさまざまなオペレーティングシステムと互換性があります。このツールは、SEMI E34、 IEC 60601-1-1、およびUL 698Aを含むさまざまな安全および環境要件を満たすために認定されています。全体として、Autoetch 590は業界をリードするエッチャーおよびアッシャーであり、プロセスの汎用性を提供しながら高精度のエッチング結果を提供できます。その高度な運用資産と統合された自動ローディングモデルは、さまざまなアプリケーションに最適です。