中古 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293807554 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 590は、最新の半導体製造ワークフロー向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は、高度な技術を使用して、1つの便利な機械で精密エッチングとアッシングプロセスを提供します。Autoetch 590は、最高レベルのエッチングとアッシング速度と精度を提供することで、今日の大量の半導体製造ニーズに対応する生産スループットと歩留まりを向上させます。LAM RESEARCH Autoetch 590は、FOUPコンテナを使用して、直接人間と接触することなくウェーハを安全に輸送する、環境に優しい方法で動作するように設計されています。これにより、危険な化学物質を直接取り扱う必要がなくなり、人員と重要な製品の両方が損傷から保護されます。ユーザーはまた、最適なパフォーマンスのために特定のエッチングウェーハにジョブ要件を具体的に調整するための柔軟なプログラムを指定することができます。このシステムは、お客様の要求に固有のプロセス機能を追加するために簡単に構成できます。Autoetch 590は、オプションの変換レンズを備えた高解像度の1µmステップコリメートレーザーを使用して、複数のレシピを処理できます。レーザーパワーとパルス時間を制御することで、ユーザーはウェーハ内の大小の特徴を正確にエッチングすることができ、驚くほどの速度で困難なパターンを作成することができます。レーザーはまたマスクの依存するパターンの間違いを最小にするためにクロストークの自由なエッチングの利点を提供します。さらに、LAM RESEARCH Autoetch 590は、基板のミスアライメント制御、温度制御、パワーレベル設定、スリット幅、エアロゾル化された化学濃度設定など、幅広い高度でカスタマイズ可能なプロセスパラメータを備えています。これにより、最も困難なジョブに必要なパラメータを正確に設定できます。また、高度な計測および検査機能を備えており、プロセスのあらゆるステップでエッチング精度を保証します。Autoetch 590は、Kシリーズのケミカルデリバリーノズルを使用して、エッチング速度を正確かつ迅速に制御します。この機械は処理される各基質のためのエッチング率の最高の正確さそして一貫性を保障する優秀な制御そして信頼性があります。このツールには、エッチングプロセスパラメータを監視するためのキャリブレーションセルが組み込まれており、精密制御と非常に均一なエッチングを保証します。アセットは、エッチングとアッシングのすべての側面を制御するための安全な環境を提供することができる処理ステーションに接続されています。これにより、ウェーハの自動マッピングが可能になり、エッチングおよびアッシング操作におけるウェーハの最適なアライメントが保証されます。さらに、このモデルは、さまざまな外部処理プラットフォームとの簡単な通信を容易にするための高い統合を提供しています。LAM RESEARCH Autoetch 590は、設計ツール、セットアップ時間、プログラミング言語を簡単に使用して、最も複雑な生産ニーズに合わせて機器を構成できます。結論として、Autoetch 590は現代の半導体製造会社にとって理想的なツールです。その高度な技術と統合された機能により、高いレベルのエッチングとアッシング精度、スピード、再現性を実現します。このシステムは、安全で環境に優しいワークフローを維持しながら、お客様固有のプロセスを提供し、極めて厳格な生産要件を満たします。