中古 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293754142 を販売中

LAM 590は、LAM Research Corporationが開発した最先端の高性能エッチャー/アッシャーです。リアクティブイオンエッチング（RIE）とプラズマアッシング（PA）技術に基づいた完全に自動化されたプログラム可能なバッチエッチング装置です。幅広いエッチング処理が可能で、優れた性能、精度、生産性を提供します。590は、ほぼすべてのエッチングまたは灰プロセスを処理するように設計されています。圧力、RF電力、流量、水没などのエッチングまたはアッシュパラメータを正確に制御できます。このシステムは、最大直径40インチの大容量プロセスチャンバーをサポートし、幅広いウエハサイズに対応します。ユニットのカセットからカセットへの取り扱い機能により、バッチ操作が可能で、全体的な処理時間とコストを削減できます。エッチャー/アッシャーには、精密なプロセス制御と精度を確保するための幅広いオプションが装備されています。これらには、手動ロードロックとアンロードステーション、自動高度検出機、デジタル温度制御システム、およびRFジェネレータ制御モジュールが含まれます。これらの機能により、エッチングまたはアッシュプロセスを正確に制御でき、ウェーハが毎回確実かつ正確に処理されることを保証します。このツールの堅牢な電気および機械部品は、高電圧および積極的な化学に耐えることができ、要求の厳しいアプリケーションでも長寿命を保証します。精密ガス制御用の高解像度ガスパネルと、自動温度監視用の光学ピロメータが付属しています。アセットの自動化された機械的処理により、効率的な積み下ろしプロセスが保証されます。LAM 590はUL-、 CSA-、およびCE認定されているので、ほとんどの危険な場所で使用することは安全です。優れたプロセス制御と精度を提供し、エッチングおよびアッシング用途に最適です。モデルも使いやすく、費用対効果が高いです。優れた性能と精度で、あらゆるエッチングやアッシュプロセスに最適です。