中古 LAM RESEARCH Autoetch 590 #293745368 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 590は、幅広い半導体プロセスに対応する最高レベルの柔軟性を提供するように設計されたエッチャーおよびアッシャーです。200mmウェーハから300mmウェーハまで、1時間に最大30本のウェーハを処理できる完全自動化された装置です。それはプロセス条件の精密な制御を可能にするプロセスパラメータの広い範囲を提供します。Autoetch 590には、優れた均一性を確保し、プロセス効率を向上させるための二重反応チャンバーが装備されています。RIE、 ICP、酸化プラズマエッチング、エッチング不動態化、沈着後のクリーンアップなどのドライエッチングが可能です。また、水系エッチング、フォトレジスト除去、酸エッチング、アルカリ、溶液系エッチングなどのウェットエッチングも可能です。LAM RESEARCH Autoetch 590は、プロセスの種類に応じて、単一のプロセスガスと混合ガスの組み合わせの両方を供給できる柔軟なガス供給システムと統合されています。Autoetch 590は粒子の汚染を減らし、用具の寿命を拡張するのを助ける粒子管理の単位と設計されています。マシンと統合された自動ウェーハハンドリングは、最大3つのカセットスロットを処理でき、スループットが大幅に向上し、ダウンタイムを最小限に抑えます。LAM RESEARCH Autoetch 590は、高度なソフトウェアとモニタリングマシンを備えており、完全なプロセス制御を提供するように設計されています。これには、プロセス監視とデータロギングが含まれ、ツールのパフォーマンスに関する重要な情報を提供します。さらに、Autoetch 590は診断機能と制御機能を内蔵して設計されており、より大きなツールに統合できます。LAM RESEARCH Autoetch 590は、高いプロセス柔軟性と高度な機能性により、半導体メーカーにとって費用対効果の高いソリューションです。高いスループットと信頼性のために設計されており、半導体エッチングとアッシングに最適なツールです。