中古 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293821360 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 490は、完全に自動化されたガスエッチングとアッシャーです。半導体製造プロセス向けに設計されており、金属、ケイ化物、酸化物、窒化物などのさまざまな材料を化学的にエッチングするために使用できます。これは、多くの半導体生産プロセスにおいて非常に貴重なリソースとなるさまざまな機能と利点を備えています。Autoetch 490は、連続材料をエッチングするための2つの独立したワンアーム、フルプレナム、非接触/機械的スイベルダイバーアッシャーを含むプログラマブルエッチング機器です。また、制御可能な材料エッチングレシピのための5つの個別のガスラインがあります。エッチャーには、すべてのガスラインを完全に避難させるための工場に設置されたパージシステムがあり、高度な安全性とプロセス制御を提供します。LAM RESEARCH Autoetch 490は、エッチング室から自由なベースガスを除去する窒素バブラーを備えています。窒素バブラーには、インラインフィルトレーションユニットとエッチングされた材料からすべての粒子を除去するウェットスクラブ技術も含まれています。ウェットスクラブ技術は、清潔でほこりのない作業環境を提供するのにも役立ちます。Autoetch 490は、幅広いアッシングおよびエッチング操作に対応するように設計されています。この機械は、最大14種類のガス配列レシピに対応でき、エンドユーザーにさまざまな種類の材料をエッチングするための幅広いオプションを提供します。また、エッチングサイクルを特定のタイムサイクルに基づいて開始するオートスタート機能もあり、エンドユーザーは所望のエッチングレシピ時間を設定できます。LAM RESEARCH Autoetch 490は、小型で堅牢なツールで、設置面積が小さく、既存の機器との統合が容易です。これにより、タイトでスペースに制約のある生産エリアに理想的なソリューションとなります。結論として、Autoetch 490は非常に強力で柔軟なガスエッチングとアッシャーです。半導体製造プロセスに最適な独自の機能と利点を備えています。それは完全に自動化され、作動し易く、最低の維持を要求します。