中古 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293811780 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 490は、ハイマージン基板のハイスループット処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、最適化された性能と高い生産性のために高度に設計されています。Autoetch 490は、高圧、大容量のプロセスチャンバーと幅広いエッチング化学ソリューションを備えています。このチャンバーはガス使用率を最大化するように設計されており、高度なプロセス制御アルゴリズムによって均一なエッチング結果と優れたプロセス精度が実現されています。LAM RESEARCH Autoetch 490は、高い歩留まりと低コストで動作するように設計されており、一貫したエッチングの重要な機能サイズとプロセス時間で複数のウェーハを同時に処理できます。Autoetch 490は、アクティブプラテン温度制御、マルチガスインレット、アクティブクーリングシステムなど、さまざまなプロセスオプションも備えています。堅牢なプロセス制御機能を備えたLAM RESEARCH Autoetch 490は、リアルタイムでパラメータを変更してエッチング歩留まりとプロファイル精度を最大化できます。オートエッチング490は、プラズマエッチング、ウェットエッチング、アッシング、ゲート酸化エッチング、サイドウォールプロファイルエッチングに適しています。50〜100％の収率が高く、RFとOpen Towerの両方のアーキテクチャと組み合わせることができます。LAM RESEARCH Autoetch 490は、32ビットのWindowsベースのソフトウェアプラットフォームを標準装備しており、既存の本番環境に簡単に統合できます。Autoetch 490には、汚染を最小限に抑える安全機能と、欠陥検査とプロセス制御のための高度なソフトウェアソリューションもあります。システムは状態および操作を監視するためのフルカラーLCDの表示と、作動し易いです。リモートアクセス機能は、システムが最適に動作していることを確認するためのリモート診断機能をユーザーに提供します。全体として、LAM RESEARCH Autoetch 490は汎用性の高いハイスループットエッチャー/アッシャーであり、高マージン基板を正確にエッチングできます。堅牢なプロセス制御機能、高度な安全機能、簡単な操作を備えたこのエッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチング用途に最適なソリューションです。