中古 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293728169 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 490は、半導体デバイスの高精度製造のために設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。統合プラズマエッチング、誘導結合プラズマエッチング、反応イオンエッチングなど、さまざまなエッチング技術を活用しています。Autoetch 490システムは、完全に囲まれたチャンバーで構成されており、クリーンなプロセス環境を提供し、タイトなプロセスの再現性とレシピ制御要件を遵守することができます。プラズマエネルギーは正確に制御され、エッチング処理が非常に再現可能であることを保証します。LAM RESEARCH Autoetch 490は、複雑な構造を正確にエッチングし、アスペクト比の高いユニークな形状を作成できます。Autoetch 490には、工場出荷時に設置されたロボットウェハハンドラマシンが含まれており、ウェハハンドリングとロードポート操作を自動化できます。ロボットハンドラツールは、高いスループットと短いサイクルタイムを提供し、複数のウェハサイズの動的再構成可能なコンベアアセットを備えています。LAM RESEARCH Autoetch 490は、最適なエッチング性能を確保するためのウェハ温度制御モデルも備えています。この装置には、高アスペクト比のトレンチ、複雑なビア、スルーホール、より深いプロファイルなど、幅広いエッチングレシピを装備できます。Autoetch 490は、迅速かつ簡単なレシピ変更、レシピパラメータ調整、およびプロセス監視も可能です。また、統合された高解像度ビデオプロセスモニタにより、リアルタイムプロセス監視が可能です。LAM RESEARCH Autoetch 490は、プロセス制御を維持するための包括的な診断、アラーム、およびレシピ管理ソフトウェアも提供しています。リモート診断および監視ソフトウェアにより、リモートプロセスパフォーマンスの監視と制御が可能です。Autoetch 490は、オンボードのレシピ管理、非接触スパーク検出ユニット、自動セットアップファイル、オートラン機能など、プロセスオートメーションのさまざまなオプションをユーザーに提供します。全体として、LAM RESEARCH Autoetch 490は、高精度で再現性のあるエッチング処理を提供する高度なエッチングおよびアッシングマシンです。このツールには、ロボットウェハハンドラ資産とさまざまなプロセス制御オプションが含まれており、半導体デバイスの製造に最適です。