中古 LAM RESEARCH Autoetch 490 #293652631 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 490は、高精度でプログラム可能な化学プロセスと温度制御を提供するエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、さまざまな温度およびエッチング要件に応じて、さまざまなエッチングおよびアッシング作業を行うことができます。Autoetch 490は、温度機能とロジック機能の両方に独立した自動コンピュータ制御システムを使用しており、複雑なエッチングとアッシングシナリオを完全な柔軟性で可能にします。LAM RESEARCH Autoetch 490は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと高度なプロセス制御を備えたプレミアムツールユニットです。12インチのカラーディスプレイを内蔵しており、ユーザーはエッチングとアッシング操作をはっきりと確認できるだけでなく、レシピパラメータを迅速かつ簡単に表示および調整できます。また、各チャンバーの温度を自動校正し、プロセス全体で温度の一貫性を維持し、エッチング部品の均一な品質を実現します。さらに、エッチング時間を正確かつ一貫した制御できるタイマーシーケンス機能を備えています。このタイマーは、デリケートな基板や部品の保護を確保するために、内蔵のリミットコントローラと組み合わせて使用することもできます。Autoetch 490は、2つの独立した真空ポンプを駆動して、精密なエッチング、アッシング、クリーニング操作を行うための内部圧縮空気供給によって駆動されます。EビームとUV露出技術を利用して、ダイダイ、ウェブ、リールからリールへのプロセスを容易にします。このツールには、プロセスの信頼性と品質保証を向上させるためのいくつかの洗浄機能もあります。湿式クリーニングプロセスと反応性ガスクリーンプロセスを含むこれらのクリーニング機能は、サイクルタイムを短縮し、LAM RESEARCH Autoetch 490を高純度エッチングとアッシング結果を達成するための効果的なツールにすることができます。また、高精度ノズル調整機能により、再現性の高い製品品質に不可欠な大型基板を取り扱う際の一貫性を確保します。要するに、Autoetch 490は、優れた品質の結果をもたらす強力なエッチングおよびアッシング資産です。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス、高度なプロセス制御、独立した温度制御、統合されたタイマーとリミットコントローラ、効率的な洗浄機能、および正確なノズル調整により、LAM RESEARCH Autoetch 490は、あらゆるエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。