中古 LAM RESEARCH Autoetch 490 #175570 を販売中

ID: 175570
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH Autoetch 490は、ウェットおよびドライケミカルエッチングプロセスのアプリケーション用に設計された自動エッチング機です。この機械は、さまざまな材料や基板に精密エッチングとアッシングを行うように特別に設計されています。これは、高周波交換電流を使用して材料または基板内の粒子を移動させ、焦点を当てた化学物質にさらさせるシーケンシャル、フルオート動作を特徴としています。機械は性能および正確さを改善するように設計されているいろいろな特徴が装備されています。これらの機能には、ガスの流れを正確に制御するために使用される精密ガスバルブと、エッチング処理が制御された環境で行われることを保証するために密閉されたコンパクトな真空システムが含まれます。さらに、Autoetch 490はコンピュータ制御のマイクロプロセッサ駆動システムを備えており、プロセスパラメータを正確かつ正確に制御することができます。エッチング処理は、コンピュータ駆動のコントロールを使用してプロセスを開始することによって開始されます。プロセスが開始されると、材料または基板に交互の高周波電圧が印加され、材料内のイオンが振動し、エッチングが行われます。エッチング工程では、エッチングガスがチャンバーに導入されます。その後、これらのガスが点火され、材料が化学物質にさらされ、エッチングが発生する可能性があります。エッチング処理が完了したら、エッチング製品を分析して製品の品質を確認します。LAM RESEARCH Autoetch 490には、リアルタイムでエッチング製品を見ることができる蛍光体スクリーンが装備されており、ユーザーはエッチング処理がどのように進行しているか、エッチング材料がどのように見えるかを確認することができます。エッチングプロセスが完了すると、エッチング製品をクリーニングまたは廃棄することができます。全体として、Autoetch 490は、エッチング製品の高精度で一貫した品質を提供するように設計された、効率的で信頼性の高いエッチングおよびアッシングシステムです。この機械は、高い精度と精度でウェットとドライエッチングの両方を実行することができるさまざまな機能を備えています。エッチング工程で設定された品質基準を確実に満たすために、エッチング製品を分析するための機械も適切に装備されています。
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