中古 LAM RESEARCH Autoetch 480 #293652620 を販売中

LAM RESEARCH Autoetch 480は、ウェーハ処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。高いスループット、堅牢なエッチング、さまざまなアプリケーションでのアッシングを可能にします。マルチチャンバー技術を使用して、Autoetch 480は単一のツールでエッチングとアッシングを組み合わせます。特徴としては、チャンバーごとに独立したマスフローコントローラ、エッチング/アッシュ選択のためのデジタル圧力制御、生産性を向上させるための積載/アンロード自動化などがあります。LAM RESEARCH Autoetch 480は、プロセスの柔軟性を最大化するためにモジュラーチャンバーで設計されています。これにより、お客様はエッチングまたはアッシングプロセスを特定の要件に合わせて調整できます。エッチング機能には、プラズマエッチング、ウェットエッチング、およびウェットエッチング/ドライエッチングプロセスが含まれます。アッシング機能には、酸素プラズマ、リモートプラズマ、ウェットエッチング、およびウェットエッチング/ドライエッチングプロセスが含まれます。すべてのプロセスは、最大3つのチャンバーで利用できます。Autoetch 480は、プロセスの最適な再現性と歩留まりを保証する高度なプロセス制御技術も備えています。操作を簡素化し、ダウンタイムを最小限に抑える使いやすいレシピプログラミングシステムを提供します。このツールは、オペレータから使用されるプロセスまでの明確なトレーサビリティを備えた、包括的なプロセス監査証跡を維持します。LAM RESEARCH Autoetch 480には、多様性を高めるためのさまざまなオプションとアップグレードが付属しています。これには、急速な熱処理、広範囲のチャンバー、統合された粒子制御、レシピプログラミングインターフェイスが含まれます。Autoetchは、リアルタイム計測、オンライン監視と制御、プロセスデータレポートなどの統合対応ソフトウェアモジュールも提供します。Autoetch 480は、ユーザーが歩留まりとプロセスの再現性を最大化するのに役立つ高度なエッチャー/アッシャーです。そのモジュラー設計は柔軟性を提供し、ツールを特定の要件に合わせて調整することができます。その制御技術は、最適なプロセスの再現性と歩留まりを保証し、統合ソフトウェアモジュールはリアルタイムの監視と制御を提供します。LAM RESEARCH Autoetch 480は、エッチングプロセスをアップグレードしたいお客様に最適なソリューションです。