中古 LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX #9250675 を販売中

LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTXは、フルウェーハエッチング/アッシングプロセスからフォトレジストストリッピングや金属除去などのバックエンドプロセスまで、アプリケーション向けのプロセスソリューションを提供するエッチャー/アッシャーです。Alliance6 9400 PTXは、単一のプロセスチャンバーを備え、高スループット、低コスト、プロセス設計の柔軟性、および幅広いプロセス機能を提供する汎用性と高度なエッチャー/エイサーです。LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTXは、並列電極駆動の誘導結合プラズマ（ICP）源を利用しています。これは、効率的なプラズマ制御を提供し、プロセスのより高い信頼性と再現性を提供するように設計されています。正確なエンドポイント検出により、均一でクリーンなエッチング/アッシュプロセスを提供します。エッチャー/アッシャーは、単一のプロセスチャンバーと使いやすいタッチスクリーンコントローラで構成されています。これは、より良いプロセス制御とダウンタイムの改善、および再現性と均一性の向上を提供するように設計されています。Alliance6 9400 PTXは、信頼性が高く安定したエッチャー/アッシャーであり、厳しいグローバルな安全性と環境要件を満たしているため、生産システムで安全に使用できます。特許取得済みのデュアル周波数RFプロセスモニタリングシステムと、マルチウェーハ処理を可能にする高度なウェーハハンドリングシステムを備えています。基板温度、プロセスガス組成、圧力、電力、電流など、複数のプロセスパラメータが含まれています。これらのパラメータはすべて正確に調整して、幅広いエッチング/アッシングプロセスに最適な結果を得ることができます。エッチャー/アッシャーは、最先端のソフトウェアパッケージを使用しており、操作の容易さとプロセスパラメータの最適化を可能にします。全体として、LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTXは、ハイスループットと低コストのプロセス向けに設計された、汎用性が高く、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。精密なプロセス制御とダウンタイムの向上、再現性と均一性の向上を実現します。また、厳しいグローバルな安全性と環境要件を満たしており、生産システムの安全性を確保しています。