中古 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9412055 を販売中

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFMは、半導体産業における大量の高スループットウェーハ処理用に設計された、生産スケールエッチングされたウェーハ製造モジュールです。Alliance6 9400 DFMは、高度な高アスペクト比ウェーハ処理用に特別に設計された専用エッチングモジュールです。このモジュールには、3軸の自動ウェーハ処理装置と高精度マルチゾーンプラテンステージが装備されています。このシステムの設計により、反応イオンエッチング（RIE）、誘導結合プラズマ（ICP）エッチング、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）など、さまざまなエッチング用途に適しています。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFMは、高精度のマルチゾーンプラテンステージを使用して、正確なウェーハアライメントを実現し、バッチエッチングとウェーハアライメントを容易にします。プラテンはマルチゾーンモードで動作するため、ウェーハ上で複数の種類のエッチングを同時に行うことができます。高速、高精度、信頼性を備えた高度なウエハハンドリングユニットは、Alliance6 9400 DFMの性能と運用の柔軟性をさらに高めます。また、リアルタイムのプロセス制御、歩留まりおよびランタイム監視、データロギング、高度なフォールトトレラントソフトウェア、およびインラインおよびオフラインの両方の欠陥検査も備えています。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFMは、リモートサービスや予防メンテナンスプログラムを含むLAM RESEARCHの包括的なサービスとサポートネットワークに支えられています。このツールは、最高品質の材料と製造技術を活用することにより、信頼性と一貫したパフォーマンスを提供します。スループットと歩留まりを最適化し、お客様がコスト削減と競争力を最大化できるように設計されています。高度なプロセス機能、柔軟な運用モード、信頼性の高いパフォーマンスにより、Alliance6 9400 DFMは幅広い半導体製造要件に対応する信頼性の高いソリューションとなります。