中古 LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9250676 を販売中

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFMは、さまざまな高度な半導体プロセスをサポートするように設計されたエッチャー/アッシャーです。ハイエンド独自のプロセス制御ソフトウェアと独自のモジュール設計を組み合わせ、優れた性能と精度を提供します。Alliance6 9400 DFMは、さまざまなエッチングおよび沈着化学機能を提供します。この機器は、CVD、 PECVD、およびALD技術、およびレジストおよびエッチング化学製品と互換性があります。それは4"まで基質を処理でき、950°Cまで温度に達することができます。このシステムは、独自のMulti-Plane Linear FlowTec™交換プラットフォームを使用して、優れた均一性、再現性、高速サイクルタイムを提供し、高精度と再現性を提供します。また、汎用性の高いプラズマソース/ポンプの組み合わせにより、ユーザーのプロセスレシピに応じて金属と高K材料の均一なプラズマエッチングが可能です。LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFMは、高度なPIC Corporation電源を搭載しており、ユーザーは多種多様なガスから選択することができ、フィルム成膜およびエッチングプロセスのための高度な原子炉の構成を可能にします。このマシン独自のソフトウェアは、サブミクロン機能の製造における変動を低減し、優れたデバイス性能を保証します。このソフトウェアを使用すると、プロセスのパフォーマンスを監視、分析、最適化して、均一性、スループット、歩留まりを正確に制御できます。Alliance6 9400 DFMは、さまざまな生産要件と環境規制の遵守に最適です。その化学管理ツールは、安全性と廃棄物の削減、ならびにSEMI S2要件への準拠を保証します。このアセットは、高スループット、低コストの要件に適合するように設計されています。全体として、LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFMは、優れた性能と精度を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。独自のモジュラー設計と独自のソフトウェアにより、ユーザーはプロセスを最適化し、化学管理モデルはセキュリティと環境規制の遵守を保証します。