中古 LAM RESEARCH Alliance #9024992 を販売中

LAM RESEARCH Allianceは、精密エッチングおよびアッシングソリューションの高精度を提供する高度なエッチングおよびアッシングツールです。マイクロチップやその他のエレクトロニクス部品のエッチングとアッシングにおいて、より小さく、より正確で、繰り返し可能なパターンを作成するのに役立つように設計されています。アライアンスは、複雑で構造的に要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途に理想的です。この装置は、薄型寸法誤差と+/-3アングストロームの高い再現性の精度を備えた小さな機能を生成することができるためです。このシステムは、必要な基材の精密エッチングとアッシングを保証するいくつかのハイエンド部品で構成されています。これには、高感度光学のセットアップが含まれており、これは非常に高解像度のイメージング機能で正確な結果を提供するように設計されています、個々のエッチングとアッシングパターンの操作と制御を可能にする高精度パターンジェネレータとイメージングサブシステム。LAM RESEARCH Allianceには、エッチング組成物をカスタマイズし、制御されたエッチング速度を実現できる強力なイオンソースが付属しています。この強力なイオン源は、動的に調整可能なイオンエネルギー範囲を介してイオンを供給する高エネルギーユニットで構成されており、幅広い材料でエッチングすることができます。また、フィルムの堆積と基板のエッチングのための電気、化学、熱場を生成することができるカスタムエッチングチャンバーがあります。このチャンバーには、さまざまなエッチングパラメータを管理し、高い信頼性で再現可能なレイヤーを実現するための多数のアクセサリが含まれています。アッシングプロセスには、複数のレシピのレートを制御できる堅牢な制御マシンが装備されており、より迅速で信頼性の高いプロセスのための自動デバイスプログラミングを提供します。アライアンスはまた、アッシングプロセス中にプロセス温度を厳密に許容範囲内に維持する温帯フィードバックループツールを備えています。アセットはまた、米国のGcodeとVLSI CADをサポートするソフトウェアインターフェイスを提供し、直感的なレイアウトとパラメータシミュレーションと最適化を可能にし、エッチングとアッシングプロセスで最高レベルの精度を保証します。LAM RESEARCH Allianceは、精度、再現性、信頼性を備えた精密エッチングおよびアッシングアプリケーションに対する厳しい業界要件を満たすように設計されています。このモデルは、マイクロエレクトロニクス、半導体、医療機器、自動車産業で使用され、精密エッチングおよびアッシング用途に最適です。