中古 LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 #9255329 を販売中

LAM RESEARCH Alliance TCP 9600エッチャー/アッシャーは、半導体デバイスの製造に必要な洗浄、物理蒸着、リソグラフィープロセスとともに、フィルムの成膜およびエッチング用に特別に設計された多機能マシンです。このマシンは、MEMSデバイス、化合物半導体デバイス、マイクロエレクトロニクスデバイスなど、幅広いエッチング機能といくつかのアプリケーションを提供します。アライアンスTCP 9600エッチャー/アッシャーには、最大4インチx 4インチの基板を受け付けることができる14インチの大容量の長真空チャンバーが装備されています。このチャンバーは、電子サイクロトロン共鳴（ECR）源によって生成される塩素と酸素を含むプラズマを介して加熱されます。プラズマエネルギーにより、ポリシリコン、エピタキシー、アモルファスシリコン、その他の材料などの堆積層の非常に精密なエッチングが可能になります。エッチャー/アッシャーには、RFバイアス発生器とハネウェル圧力レギュレータも含まれており、高品質のエッチングのためのプラズマ出力と圧力の正確な組み合わせを可能にします。LAM RESEARCH Alliance TCP 9600はまた、エッチング工程のリアルタイム監視を可能にする2つのin situイオン質量分析計を提供し、エッチング速度とエッチング均一性に関する重要な情報を提供します。エッチング速度と均一性を監視することで、製造メーカーはより正確なエッチング結果を生成し、プロセスの変動を減らし、最終的に製品品質を向上させることができます。さらに、in-situイオン質量分析計は、追加のエッチングレシピを容易に統合することができ、ダウンタイムを最小限に抑えた新しい材料のエッチングを可能にします。Alliance TCP 9600には、強力でユーザーフレンドリーなWindows-互換性のあるソフトウェアスイートが装備されており、簡単にエッチレシピのセットアップと実行が可能です。このソフトウェアには、データ分析機能が含まれており、使用データとエッチング結果を簡単に追跡できるため、製造メーカーは高品質の結果をより迅速かつ効率的に生成することができます。LAM RESEARCH Alliance TCP 9600エッチャー/アッシャーは、高品質のエッチング、強力なソフトウェアスイート、高精度で信頼性の高いエッチングプロセスのリアルタイム監視を提供する高性能なマシンです。このマシンは、ダウンタイムを最小限に抑え、高精度なエッチングと正確な監視機能を備えたエッチャー/アッシャーを必要とするメーカーに最適です。