中古 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293793431 を販売中

LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTXは、高いスループットとスループットの整合性を提供するエッチャー/アッシャーです。セラミック基板と金属基板の両方のエッチングとアッシングに使用されます。プログラム可能で反復可能なプロセスと自己モニタリング性能により、高精度の結果を提供します。装置はタッチスクリーンのカラーコントローラで動作し、正確なエッチングとアッシング時間のために最大0。05秒のステップタイムの制御解像度を提供します。このエッチング/アッシングシステムは、1時間あたり約400基板の高いスループットを提供し、クリーンルームプロトコルに準拠するように設計されています。TCP 9400 PTXアッシャーには、空冷、低圧リアクタント室、プロセスガスモジュール、および温度および真空制御が含まれています。このユニットは、シリコン構成用のトライガスエッチング機能も提供します。粒子制御と粒子沈着防止を確保するフィルタリングマシンを装備しています。このツールは、高度な原子炉の煙突設計を使用して効率的なプロセスを提供します。これにより、ガス拡散を最小限に抑え、エッチング時間を短縮できます。また、精密なエッチング制御、均一性の向上、バッチからバッチへの優れた再現性を提供します。TCP 9400 PTXモデルには、安全な動作環境を確保するためのいくつかの安全機能が含まれています。また、外部改ざんを検出する自己診断機能も備えています。さらに、システムにはダウンタイムを最小限に抑えるための低メンテナンス設計が含まれています。ステンレス合金材料は、低ガス、低リーク濃度を保証し、基板上の汚染を防止します。このユニットは、幅広い基板で高品質な結果を出すことができ、さまざまな生産プロセスのニーズを満たすことができます。エラストマーシールは精度と精度を確保し、チャンバー設計は結果の再現性と高速なプロセス時間を提供します。さらに、高度なプロセスモニタリングマシンはエラーを最小限に抑え、エッチング時間を短縮します。全体として、Alliance TCP 9400 PTXは、さまざまな生産ラインや大量生産ニーズに最適なエッチャー/アッシャーです。このツールの高いスループット、エッチングの正確な制御、および安全機能により、高精度のエッチングおよびアッシング用途に最適なソリューションです。