中古 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293627727 を販売中
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ID: 293627727
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8"
Chamber
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M Turbo molecular pump
ACT 1300M PM Pump controller
Enhanced gas box
Spooled inlet gas panel
HORIBA / STEC Mass Flow Controller (MFC) Type: Digital
Gas filter: ≥0.003 um
Gas box stacking: 4 PM Stacking
Pump ballast with AOV 85
Chamber manometer: MKS 0.1 Torr
Turbo manometer: MKS 10 Torr
Fore line manometer: MKS 10 Torr
Pressure control valve: Pendulum VAT65
Helium pressure control unit: UPC-1300
ESC 718-094523-281 Bipolar anodize (Notch), 750 V, 24 VDC
Chamber configuration: Elevated top hat
Direct pressure monitoring
He Cooling size (Center): 50 SCCM
(8) Gas lines:
Line / Gas / Size
1 / O2 / 50 SCCM
2 / C2F6 / 100 SCCM
3 / Cl2 / 100 SCCM
4 / HBr / 350 SCCM
5 / He / 500 SCCM
6 / 20% O2/He / 20 SCCM
7 / CF4 / 200 SCCM
8 / SF6 / 200 SCCM
Upper chamber temperature: 60°C
Wall chamber temperature: 60°C
Lower chamber temperature: 65°C
ADVANCED ENERGY RFDS-1250 RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-026)
RF Generator cooling type: Water
Coil (P/N: 853-330601-001)
Match (P/N: 853-032294-002)
Auto tune PCB (P/N: 810-015987-101)
Upper match enclosure with fan
ADVANCED ENERGY RFG-1250 Halo RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-028)
RF Generator cooling type: Water
P/N: 853-015130-103 Match
P/N: 810-017003-005 DIP PCB.
LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTXは、工場生産のための望ましいアッシャー/エッチャー機械です。このコンパクトで使いやすい機械は、主にウェーハ基板の加工に使用されます。PTXモデルは、高い精度と精度を必要とする材料の成長および除去アプリケーションに最適です。自動化機能により、スループットを最大化し、アプリケーションあたりのコストを削減し、運用を簡素化します。PTXは、最適化されたチャンバー設計と優れた品質結果を提供する高度なエッチングパラメータを備えたプラズマ強化エッチング技術を使用しています。この高度なエッチャーは、優れた成膜プロファイル、均一なオーバーラップ、シャープな機能定義を備えているため、欠陥のないウェーハと歩留まりが向上します。TCP 9400 PTXはチルト回転ステージを備えており、正確なパターン認識による精密な加工アライメントを可能にします。これにより、精密な均一性を維持しながら、任意のサイズと厚さの基板を加工することができます。マシンはまた、97％の平均合計アップ時間と卓越した耐用年数を持っています。この装置は、90nmシングルウェーハプロセスをベースにしており、低消費電力と高密度の両方のアプリケーションに最適です。顧客固有のニーズに合わせて結果をカスタマイズするための幅広いシステムオプションを提供します。その他の機能としては、ウェハ全体に均一な電力を供給する25Wの高出力の無線周波数ソース、自動ノッチ選択、およびプロセス制御と監視のための安全なリモートデータ管理ユニットがあります。PTXは、長期的な信頼性、正確なパターニングと再現性、および要求の厳しい生産要件に対応する高性能マシン向けに設計されています。機械はまた色のタッチ画面および更新されたソフトウェアとオペレータの慰めおよび適用範囲が広い操作の高レベルを装置の操作そして維持をより簡単、より有効にさせます提供します。このマシンはあらゆる生産環境に適しており、最適な稼働時間、プロセス制御、再現性を提供します。
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