中古 LAM RESEARCH Alliance A6 #9389920 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6は、ハイスループット処理用に設計されたシングルウェーハバッチエッチャー/アッシャーです。コンパクトなフットプリント、高性能、優れた処理再現性を備えた先進技術を提供します。Alliance A6は、独立したDCバイアス制御を備えたデュアルステージRFプラズマソースを備えており、優れたエッチング/アッシング選択性、および高レートで異方性のエッチング/灰プロセスを提供します。また、高密度プラズマエッチングまたはドライストリッピングエッチング用に構成することもできます。このチャンバーには、エッチングの均一性を向上させるための自動化された中央方向のガス分配装置が含まれています。中央方向のガス配分機能は、従来のコリニアスリットシステムよりもエッチングの均一性を∼10xに向上させます。コンパクトながらパワフルなウェハレベルのロード/アンロード・システムにより、サンプルのロード/アンロードと配置が容易になります。LAM LAM RESEARCH Alliance A6は、6インチ（150 mm）までの標準的で壊れやすい厚膜ウエハに対応できます。このユニットは、高温プロセス（最大450°C）および高圧プロセスのレシピ（最大65 Torr）に対応するように設計されています。マシンの制御ハードウェアとソフトウェアは、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。それは簡単に呼び出すことができるレシピの数百を格納することができます。洗練された直感的な機能のレベルは、複雑なプログラミングの必要性を排除します。Alliance A6は、ユーザーの生産性、再現性、優れたプロセス性能を保証する多くの高度な機能を提供します。これらの機能には、高度な診断とモニタリング、水素希釈制御、均一なガス注入、基板RFバイアスなどが含まれます。LAM RESEARCH Alliance A6は、半導体、光学、光電子デバイスなどの高性能薄膜材料の成膜に最適なエッチング/アッシュツールです。その優れた機能セットは、優れたプロセス制御と再現性を確保しながら、生産性とスループットを向上させるための優れた選択肢です。