中古 LAM RESEARCH Alliance A6 #9123023 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6は、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング用途向けに設計された精密エッチングおよびアッシング装置です。アライアンスA 6は、多くのエッチングおよびアッシング用途で優れた性能を発揮します。ナノスケールデバイスの製造やMEMSプロトタイピングに最適な高度なハイエンド機能を備えています。LAM RESEARCH Alliance A6は、同じプラットフォーム上で非常に正確なプラズマ生成と制御を提供するため、ユーザーはタイトなプラズマパラメータの安定性と幅広いエッチングとアッシングの結果を得ることができます。サブミクロンエッチング、高解像度イオンビームエッチング、アッシングが可能です。これは、高度なエッチングとアッシングのレシピ機能とリアルタイムプラズマ監視システムによって可能になります。アライアンスA 6は、最先端のハイスループットDCマグネトロンスパッタリングソースで構築されています。これにより、複数のサンプル基板を使用するために、同時に非常に高いエッチングとアッシング速度が保証されます。このユニットはまた、ダイナミックフィードバック制御用のレーザー干渉計のオプションを使用して、プロセスの明確なビューを提供します。これにより、サンプルのすべての部分にエッチング/アッシング特性があることが保証されます。最良の結果を得るために、LAM RESEARCH Alliance A6は安全性と環境コンプライアンスにも信頼性があります。半導体業界およびクリーンルームの空気品質基準に完全に準拠しています。これにより、サンプルの完全性が汚染、高調波ノイズ、およびプロセスに影響を与える可能性のあるその他の環境要因から保護されます。また、試料のエッチング後に化学残留物が残っていないことを確認するために、除染機が含まれています。全体的に、Alliance A6は、複数の基板タイプのエッチングとアッシングに理想的な選択肢であり、優れたプロセス制御と結果を提供します。そのハイエンドの機能により、さまざまなナノスケールデバイスの製造およびMEMSプロトタイピングアプリケーションに適しています。