中古 LAM RESEARCH Alliance A6 TM #9152887 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 TMは、高度で高性能なエッチャー/アッシャーです。精度・精度の高い各種素材のエッチング・アッシングが可能です。直径610mm、高さ460mmまでのサンプルに対応できる大型エッチングチャンバーを備え、片面と両面の両方の構成でサンプルを処理できます。1ジョブにつき最大12個のウェーハを処理し、最大10マイクロメートル/分のエッチング速度を達成できます。エッチャー/アッシャーにはハイテクなロボットアームがあり、さまざまな構成からサンプルを処理することができます。均一なエッチングに対して優れた精度を発揮し、同時にマルチウェーハ処理も可能です。エッチャー/アッシャーは、所有コストが低く、高効率に設計されています。これは、エッチングとアッシングプロセス中のプロセス圧力の調整を可能にする2段階の圧力制御システムを備えています。エッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングレシピで高解像度エッチングを提供することができます。レシピは、必要な結果に合わせて調整することができます。また、温度、時間、ガスの流れの設定の広い範囲で高度に調整可能です。エッチャー/アッシャーには、可変周波数電源と、簡単な操作と制御のための組み込みユーザーフレンドリーなインターフェイスも装備されています。エッチャー/アッシャーは、半導体、MEMS/MOEMS、ホログラフィック産業など、さまざまな用途に適しています。エッチャー/アッシャーには、不活性な大気システムや消火システムなどの包括的な安全システムが装備されています。また、リアルタイム監視用の包括的なセンサー・ネットワークも備えています。これらの機能はすべて、安全で効率的な処理を可能にします。アライアンスA 6 TMは、優れた精度と精度を提供しながら、低コストの所有権を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。幅広い用途に適しており、包括的な安全システムを備えています。エッチャー/アッシャーは幅広いレシピと互換性があり、ユーザーは要件に合わせて最適なエッチング条件を調整することができます。